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各国洁净室标准规格说明 （中国，美国，德国，日本） 2007-10-18 22:58 洁净室标准规格说明 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。 表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格 洁净室级数（Class) 微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次/hr) 照度lux 粒子大小um 粒子数目Particles/ft 3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 误差% 层流方式0.35~0.55 m/s 1080 ~ 1620 1 ≧0.5 ≦1 ＞1.3 19.4~25 22.2 ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 45 30 ±10 特 殊 需 求 ±5 ≧5.0 0 10 ≧0.5 ≦10 ≧5.0 0 100 ≧0.5 ≦100 ≧5.0 ≦1 1000 ≧0.5 ≦1000 乱流方式≧20 次/hr ≧5.0 ≦10 10000 ≧0.5 ≦10000 ≧5.0 ≦65 100000 ≧0.5 ≦100000 ≧5.0 ≦700 至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。 表1-2 美国联邦标准209E 美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m 3 ）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。 洁净度等级 微尘粒子 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um 单位 单位 单位 单位 单位 公制 英制 (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) (m 3 ) (ft 3 ) M1 　 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 　 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - - M3 　 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 　 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 　 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 　 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000