拉晶工艺与操作的流程.ppt

2.装料 检查所备原料及母合金是否与随工单相符，观察包装有无破损现象，区分原料的大小、破碎程度，如原料不符合要求（如：料未清洗）应及时更换；按要求穿戴好劳保用品。 检查石英坩埚无问题（破损、裂纹、气泡、黑点、色泽）后，将坩埚放入三瓣石墨埚内，尽量装水平。装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚内。 装完坩埚，须另换装料用的手套后，才能开始装料，佩戴一次性手套后，不允许接触原料以外的东西，否则更换手套。在装料过程中应检查硅料中是否有夹杂异物，表面是否被氧化，有无水迹等。 装料的原则:从纵向来说，小块的料放在坩埚底部；最大块的料放中部，中等大小的料放在最上边；从径向来说，大块的放在周围，小块的放在中心。必要时要把大块的料敲小，尽量利用好埚内空间，否则到最后可能料装不下。 * 中下部的料可以装得紧凑些并且贴近埚壁，但应该是自然堆砌，而不是硬挤。上部的料块，仍可轻轻靠在埚壁上，但应该注意四点： a)减少料块与埚边的接触面积，以防止挂边； b)在料块的相对位置方面，要预估料块在垮料后，是否会架桥，然后进行相应的调整； c)装最上面部分时，小块的料不要靠在埚壁上(挂上后难以被烤下); d)不论是上、中、下哪个部位，料块尖锐部位不能直接对着坩埚壁; 装完料后，用洗尘器吸干净石英埚、石墨埚、加热器上沿，顶层炭毡上的料渣，给定埚转2rpm，检查埚转动是否平、是否晃动，要求埚摆动在2mm范围内，快速降坩埚到化料位置，注意不要超过下限即最低埚位（此处指热场装配时确定的安全下限，每套热系统刚使用时都要确定最低埚位，并明确标记在此炉记录本上。确定最低埚位的方法：在装炉过程中，对好平口后，取出三瓣石墨坩埚，降埚位直到埚托距离石墨电极20mm距离时的埚位值。），防止造成短路。 * 埚位降到位后停止埚转，安装下保温盖及导流筒，安装时要戴上薄膜手套，以防手沾污多晶料，并且要避免导流筒与多晶料接触。 检查无误后，擦拭干净主炉室、副炉室密封面，合上炉盖，确认籽晶的型号和质量，检查籽晶是否装好。籽晶夹头装到重锤上时不能拧得过紧，正确操作为：拧紧后再拧回1/3到1/2圈。整个拆装炉、装料过程中，籽晶不能有任何磕碰、损伤，对是否损伤有疑问时，应更换新籽晶。打开小副室门，用沾有酒精的棉布或毛巾擦拭干净翻板阀的密封圈及翻板阀内部，关上翻板阀。停稳籽晶后，打开翻板阀，关好小副室门，准备抽空。 按要求做好记录。 * 3.抽空 直拉单晶硅是在减压状态下进行单晶生长的，所谓减压就是将氩气从副室上端通入，同时用机械泵从主室下部抽出，使炉内压力保持在1200～1600Pa左右。 检查热藕锥的信号线，检查观察窗口，如影响观察则清洗干净，并装好。 检查通水情况正常后，才能启动主室泵。循环水压力0.12～0.16MPa。 启动泵时，需点动两、三次后，再开泵。真空阀必须慢慢打开一半（50），保持约1分钟左右后，再完全打开（100）。不经点动直接开泵和过快地打开球阀都是错误地操作方法。炉内真空度在连续抽空30分钟应达到6.0Pa以下。当真空抽不下去时，可以开启氩气阀门向炉内通入氩气，保持3～5分钟后关闭氩气，继续抽真空，若在充氩气三次后，真空还是抽不下去，要与维修人员联系检修。 按要求做好记录。 * 4.充氩气 真空度低于6.0Pa,方可打开氩气阀，打开副室氩气阀门V2使炉内压强保持在1200～1600Pa之间。 通氩气的压力为0.15MPa ，当炉压达到规定要求后，准备加热。 按要求做好记录。 * 5.化料 化料功率的选择 打开加热开关，用一个小时的时间，均匀的分四次将功率加到最高功率85～90kw，具体操作：调节加热功率值，一般为30、50、70、85左右。在料全部熔完之前，还剩余少量小料块时，应适当降低功率，以防止跳料。升温过程一定按照上述过程，加热速度不宜太快，否则易造成石英坩埚炸裂。 埚转的启动 塌料后根据情况给坩埚转速1～2 rpm，使坩埚均匀受热。 埚位升降的把握 一旦塌料之后，应该马上将坩埚升上来。以后随着料的逐渐垮下，应该逐渐升高埚位。如果不及时将坩埚升上来，料块的主体部分处于低温区，会增加化料的时间，也就增加了坩埚与硅液的反应时间，不利于坩埚的保护。而且，埚底长期处于低温区，增加了漏料的机率。上升的时候注意要在料和导流筒之间留够安全距离。 * 化料过程中，应时常注意各出水管道水温。 在整个化料的过程中，都要有防范漏料的意识。因此，熔料过程中操作人员不能离开炉台，要随时观察情况，及时处理挂边、搭桥、漏料及其它意外事故，并做好记录。 为了防范漏料，在平时 (指正常时)就应该积累以下经验：高温多少时间以后，坩埚下部会出现熔液；首次出现熔液时，液面的位置应该在什么地方；第一次垮料后，液面位置应该在什么位置。 判断漏料的迹象