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----热场安装 编制： ------ 审核： ----- 单晶炉操作工艺流程 1、 单晶炉操作工艺流程 作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却 I 石墨件安装 a.石墨大件安装（1次/4炉）。 1.用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉侧边。 2.依次装好石墨电极→炉底碳毡→炉底压片→下保温罩→两侧排气管→炉底上压片下碳毡→炉底上压片→埚杆护套→电极护套→石英护套。 3.石墨电极上下接触面要垫一层石墨纸，并检查接触面是否平整，防止打火。 4.装入下保温筒，再将排气管与下炉筒两边排气孔对正 I 石墨件安装 4.将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，防止引起打火，并盖上石墨螺丝盖。 5.将清理后的中保温罩装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致，否则需调整好。 6.打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的无尘纸擦洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。 7.下降炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。 8.安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。 9.将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位。 b 石墨小件安装 1.用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝，检查托杆是否晃动，防止长晶时液面晃动。 2.打开埚转及埚快速升降，检查有无卡滞现象 3.依次装好埚托、三瓣埚，安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合。 4.装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距上是否一致。若不一致，需及时调整。 J 石英坩埚安装 1.炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的无尘纸擦洗平干净，炉体周围地面认真打扫。 2.取来石英坩埚，带好防尘口罩、装料用的洁净手套。 3.检查石英坩埚包装上标识与配料单上否一致，打开石英坩埚包装，对光确认有无裂纹,划痕，污物，杂质点，气泡。若有异常及时处理并报告班长及品管。 4.石墨三瓣埚内放一块石墨纸，再装好石英坩埚（防止渗硅），注意坩埚上沿水平及四周间隙一致。 5.在操作记录上记好所用石英坩埚编号，生产厂家，同时保管好石英坩埚标签号，放入指定地方。 K 硅料安装 1.取来装料不锈钢车和硅料，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物一致，若有异常及时处理并报告班长及品管。 2.更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚。再将碎料、小料平铺在埚底。 3.再将大块料集中均匀放置底部，用中型料固定，小硅料填隙。其余中型料放中部和上部，间隙尽量用小硅料填实。 4.硅料与坩埚接触的面选择有弧线的平滑面，处于石英坩埚下2/3容积的硅料接触面尽可能大，上1/3容积的硅料接触面尽可能小。 K 硅料安装 5.装料时高出石英坩埚上沿的硅料应呈锥形（倾角小于60°垂直高度不超过100mm），否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉。 6.装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚，不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火。 7.装料完成后打开埚转旋转一下，确认四周间隙一致，再快速将埚降至下限。停止旋转。 8.埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣。 9.依次装好保温盖、导流筒。安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。 L 籽晶安装 1.用沾有酒精的无尘纸擦洗炉盖和炉筒接合部的密封圈，再将炉盖旋转至炉筒上部。 2.打开液压泵电源，按炉盖降按钮降下炉盖。炉盖降到位后确认炉盖是否合好，防止漏气。 3.用沾有酒精的无尘纸擦洗付室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动付室，降下与炉盖合炉。要缓慢转动付室，防止重锤与付室内壁碰撞。 4.从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来，用沾有酒精的无尘纸认真擦洗籽晶。注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶。 5.下降籽晶夹头到一定位置，从付室小门中把籽晶装在夹头上，装好钼销。用力向下拉一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后按晶快升使其上升至适当位置。 6.用沾有酒精的无尘纸擦洗付室小门的密封圈和接合部，关闭付室小门，拧上付室小门螺丝，打开翻板阀 M 抽空、检漏 1.打开真空泵电源。 2.缓慢打开主室球阀。 3.抽空后炉内压力达到20Pa 时，进行反复充氩气使炉内压力3Pa。 4.待炉内压力3Pa后，关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行检漏，要求炉子漏气速率0.