实习生“晶英计划”答辩-王乐乐.pptVIP

暑期实习生 王乐乐 工号：1213838 部门：CF Dept * Changing Your Life with My Full Heart 1.CF 简介及其工艺流程 2.CF Photo 目录 3.CF Test Sputter 4.TSP * Changing Your Life with My Full Heart 5.我的收获 CF简介 原理： CF是用来实现彩色显示的主要器件，在TFT-LCD中，背光源的光通过液晶层照射在CF上，透过的光分别为红、绿、蓝三种颜色，按照加法混色原理，使LCD屏幕得到彩色显示。 Changing Your Life with My Full Heart CF 加工的产品类型大致分为两种： CF基板 阳极ITO 阴极ITO 电场E方向 TN型 （Twisted Nematic） TFT基板 液晶扭转方向 已形成偏转，无需B-ITO。 * Changing Your Life with My Full Heart * CF基板 B-ITO + - - - + + ITO 电场E方向 液晶扭转方向 ADS型 (AdvancedSuperDimensionSwitch) TFT基板 需要B-ITO防止静电影响液晶偏转。 Changing Your Life with My Full Heart * 产品类型的不同也造成了工艺上的差异： 对于TN BS型产品，在CF完成ITO后直接到Cell完成Ball Spacer Glass in RGB BM Initial CLN ITO Sputter PS To Cell 对于TN PS型产品，其工艺流程如下： Changing Your Life with My Full Heart * B-ITO在一次Cutting之后进行，其作用是防止静电 对于ADS型产品，其工艺流程如下： Glass in RGB BM Initial CLN OC PS To Cell B-ITO Changing Your Life with My Full Heart * CF Photo Changing Your Life with My Full Heart * 整个Photo线的工艺流程如下所示： 其中Titler和Back UV只在BM之中进行； Changing Your Life with My Full Heart PPCLN Exposure HP/CP Coater AOI Develop Titler(BM) Back UV(BM) Oven * BM RGB PS OC TP/CD Color Height THK THK THK CD Mura Mura Mura Mura / Photo 各工艺控制要点如下表所示 以PS为例，如下所示： Bottom CDx Bottom CDy Top CDx Top CDy 下降5% PS Height Changing Your Life with My Full Heart * CF Test Sputter Changing Your Life with My Full Heart * NG GLS ?Inspection Mura ,Bare GLS异物 ?Inspection Mura, Defect Review Repair ?Measurement TP/CD, OD, BM THK ?Inspection Mura, Defect Review Repair ?Measurement Color, THK, CD PS OC ITO B Photo G Photo R Photo BM GLS IN ?Inspection Mura, Defect Review Repair ?Measurement ITO THK , RS , Trans OC THK PS Height，CD u Final Measure Final color /TP ,Final Angle THK Rework 整个Test检测流程及检测内容如下： Changing Your Life with My Full Heart * ITO Sputter * Changing Your Life with M