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半导体器件建模与仿真
半导体器件建模与仿真
1. 数学模型的建立
根据Blotekjear方程[6]，流体动力模型由以下方程组成：
∂n ρ
+∇⋅(nv ) 0,
∂t
ρ ρ
p ρ ρ ∇ knT p
∂ ( )
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