萤族平面度测量仪介绍-萤族YZOOM.PDF

萤族平面度测量仪介绍 上海弼智仿生高科技有限公司 Contents 01 平面度的定义 02 常用平面度测量方法 03 萤族测量原理 04 萤族测量解决方案 05 萤族测量视频 06 萤族平面测量仪参数 平面度的定义 平面度的定义 • 定义 – 是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。表示符号 ： “ ” – 由于平面度是约束特定范围内的最大凹凸偏差 ，因此 ，同样公差要求下 ，被侧面越大 ，对于平面度加工精度要求越高。 公差带 100:0.1 0.1 0.1 虚拟平面 ｝ （容许在两实际平面浮动 ） 表面任意100x100的范围 ，必须位于 图1上表面必须位于距离为公差值 距离为公差值0.1mm的两平行平面 0.1mm 的两平行平面内。 实际平面 内。 2017-7-26 上海弼智仿生高科技有限公司 Page 4 常用的平面度检测方法 传统平面度测量方法 ：① 塞尺 • 操作步骤 塞尺 – 1、将待测产品固定在基准平台 ，待检测面向下放 置 ，贴合平台表面。如右图 – 2、在产品边缘插入塞尺 ，如细节图所示。 • 判定标准 下表面为待测平面 ，要 求公差为0.3 ，测量时 ， – 间隙处使用塞尺 ，尺寸0.3以上不可塞入为合格 此面向下贴合平台放置 – 例如 ： n 塞尺尺寸为 0.3 可以塞入 n 超过 0.3 不可塞入 ，产品OK n 若塞尺尺寸 0.4 可塞入 ，则产品NG