DFKY 晶体生长控制系统.docVIP

DFKY 晶体生长控制系统 使用说明书 北京东方科运晶体技术有限公司 系统概述 晶体生长控制器是一种性能先进，运行可靠的新一代晶体生长控制器，可适用于JRDL－700、JRDL－800等直拉式单晶硅生长设备。控制器输入输出接口与CGC－101、101A晶体生长控制器兼容，可直接实现原有晶体生长控制器的换代更新。另外，晶体生长控制器还配备了光隔RS－485通讯接，将设备运行参数传送给上位中央处理机，实现晶体生长设备的集中监控。 产品特点 1 采用高性能的INTEL16位低功耗微控制器，测控功能强大； 2 采用模块化结构设计，方便系统扩展； 3 采用高品质进口元器件、接插件； 4 采用各种容错和数据安全保护措施； 5 采用大屏幕的液晶显示器，实现图形、曲线及汉字显示； 6 采用全隔离的输入/输出接口，系统安全可靠； 7 配备通讯接口，实现管控一体化功能。 性能指标 1 直径控制器 通过红外测温仪IRCON对晶体生长时的光环号进行测量，间接测量晶体的直径变化，并根据直径信号的变化对晶体的提拉速度进行控制，实现晶体直径的等径自动生长。 2 温校控制器 通过对晶升速度的测量，将晶升速度与生长过程的拉速设定曲线进行比较，对晶体的生长温度进行控制，使晶体提拉速度按工艺设定曲线进行变化。 3 埚转程序控制 本仪器设置了20段可编程埚转控制程序，实现了晶体生长过程的埚转速度控制。 4 晶转、埚升程序控制（选项） 本仪器设置了20段可编程晶转、埚升控制程序，实现了晶体生长过程的晶转、埚升速度控制。 5 温校设定（Tr ramp） 本仪器设置了20段开环温校程控曲线，对晶体生长过程的加热温度进行控制。 6 收尾过程控制 本仪器设置了10段可编程收尾控制程序，可以根据晶体长度的变化，对晶升速度、温校速率、埚转速度、晶转速度及埚升速度进行程序控制。 7 拉速设定曲线 （SL ramp） 根据生长工艺的要求，本仪器设置了20段任意可选的拉速设定曲线。 8 计长、算重功能 本仪器通过计长信号对晶体长度进行计算并显示，并根据操作人员所送的直径参数对晶体重量进行计算。 联网功能 通过RS－485通讯接口，利用我厂研制的HX－800晶体生产过程实时监控系统，用一台上位中央处理机对多达8台单晶炉的生产过程进行实时监控。上位机上可显示每台设备的运行情况，并将生产过程参数进行曲线显示及数据存储，利用打印机可打印出每台设备的运行参数，以便对生产工艺进行改革，提高设备的生产能力及产品质量。 晶体生长控制器安装说明 仪器形式：仪表盘式 外形尺寸：258×136×235（宽×高×深） 开口尺寸：222×137（宽×高） 控制器的输入/输出接口 晶体生长控制器的接线定义 晶体生长控制器的输入信号及输出信号均通过仪器后部的端子引出，仪器后部示意图见附图一。 控制器后部端子接线表（一） 端子脚号 信号定义 信号类型 备注 1 2 + 晶体直径信号输入 － 0~1.80V IN＝23mv DI=11 IN=1.7V DI=999 3 4 ＋ ＋5V电源输出 － 备用电源 5 6 ＋ 晶体速度信号输入 － 0~5.00V 测速 7 8 ＋ 埚升控制输出 － －2.00~+2.00V 备用功能 9 10 ＋ 晶转控制输出 － －2.00~+2.00V 11 12 ＋ 晶升控制输出 － －2.00~+2.00V 备用功能 13 14 ＋ 温校控制输出 － 0~12.000mv 15 16 ＋ 埚转控制输出 － －2.00~+2.00V 备用功能 17 18 B RS485 COM1接口 A 控制器扩展接口 19 20 21 埚位计长 B－C 信号输入 A－C E B相脉冲－C A相脉冲－C A、B相脉冲公共端 出厂时，以计长圆盘为测量元件 22 23 24 晶位计长 B－C 信号输入 A－C E B相脉冲－C A相脉冲－C A、B相脉冲公共端 出厂时，以计长圆盘为测量元件 上表中1~24编号接线端子为晶体生长控制器的主功能输入/输出接口，其信号定义同CGC－101A控制器完全相同，因此控制器可直接取代CGC－101A控制器而无需对其接线进行改动。 端子 脚号 扩展功能输入/ 输出信号接线定义 备注 25 26 B RS485 COM2接口 A 控制器联网接口 27 28 29 30 31 32 ACH1 ACH2 ACH3 ACH4 ACH5 AGND 1~5通道模拟量输入扩展接口 33 34 ＋ 热偶mv输入 － 35 36 ＋ 埚升速度输入 － 37 38 ＋ 晶转速度输入 － 39 40