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珠海，2008
微电子技术的发展
From microelectronics to
From microelectronics to
nanoelectronics!
陈 军
中山大学理工学院
E-mail: stscjun@
Tel: 020 1 2
◦是在半导体材料芯片上采用微加工工艺制造微
型化电子元器件和微型化电路技术
◦包括：
包括
系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、测
试以及封装、组装等专门技术
◦ 目前主要产品：硅超大规模集成电路
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微机电系统和纳机电系统 (MEMS NEMS)
◦ (micro-electro-mechanical systems and nano-
electro-mechanical systems)
微光机电系统和纳光机电系统 (MOEMS NOEMS)
◦ （micro-opptical-electro-mechanical syystems and
ThThere are more !! nano-optical-electro-mechanical systems)
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Computer
◦ 大面积微电子技术
真空微电子
Integrated circuit （IC）
……
Transistor
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