第9章 透射电子显微镜.ppt

H800型200KV透射电子显微镜 JEOL-3010TEM 3000KV超高压透射电子显微镜（日本大阪大学） 超高压透射电子显微镜操纵室 第9章 透射电子显微镜 透射电子显微镜结构 1. 照明系统 （1）阴极：发射电子。一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。阴极带有负高压。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地。 （3）栅极：控制、稳定电子束流大小。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数目及其动能。因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 （4）聚光镜：会聚电子束，减小束斑。 （5）聚光镜光阑：进一步汇聚电子束。 3. 图象观察记录系统 1．荧光屏：观察室底部是用荧光物质制成的荧光屏，它在投影镜的像平面上。荧光物质对电子感光，感光度与所受照射的电子束强度成正比，所以能显示电子像。侧壁为铅玻璃观察窗口。 2．照相装置：荧光屏下面放置一个可以自动换片的照相暗盒，照像时，荧光屏竖起，电子束使底板曝光，由于电镜的焦长很大，尽管荧光屏与底板之间有数十厘米，也能得到清晰的像。 3．照相底板：专用电子感光板，要求它感光速度快、分辨率高。常用颗粒度很小的溴化物乳胶片，它是红色盲片。现代电镜还配有摄影装置，便于动态观察。 要求高真空的原因 电镜在工作时，整个电子通道都必须在真空中。 电子枪处在高电压中几十KV~数千KV，若不真空，高速运动的电子会与气体分子碰撞，造成能量损失会发生高压放电现象，造成电子束不稳定，甚至高压加不上。 电子枪阴极温度高达2200℃以上，若不真空，灯丝氧化。 高能电子束照射在样品的微米区域内，高真空防止样品污染。 以上三条概括为：防止高压放电、灯丝氧化、样品污染。 真空的获得：一般采用两极串联、机械泵、油扩散泵联合抽气。 旋转式机械泵 抽低真空； 油扩散泵 达到高真空。 首先机械泵对整个系统抽真空，当真空度达到10-1乇时，自启动油扩散泵与机械泵联合抽气，当真空度达到10-4~10-6乇时可以维护电镜正常工作。 真空度的测量 真空度可以简单地用压力来测量。 低真空： 10-2~10-5大气压 （10~10-2乇） 高真空： 10-6~10-9 大气压 （10-3~10-6乇） 极高真空： 10-9~10-12大气压 （10-6~10-9乇） 一个大气压=103乇（torr） a 机械泵解析 工作过程： 吸气—压缩—排气。 机械泵油起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 机械泵不工作时，应使进气口处于大气状态，以防止返油。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 b. 扩散泵解析 工作过程：油蒸发—喷射—凝结，重复循环。 由于射流过程具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 三 .电源系统 功能：保证电镜所有用电部分的供电。 高压电源 ：供给电子枪，使电子加速。 低压电源： 供给阴极，使阴极加热，发射电子； 供给电磁透镜，使电子聚焦成像； 供给真空系统（启动机械泵等）； 供给自动控制系统（指示灯、照明灯）。 为保证电镜具有高分辨率，对电压和电流稳定度都有严格要求。 高压电源电压稳定度为10-6 数量级，为达到目的，高压元件都浸在变压器油箱活充满氟里昂绝缘气体内，以防不正常放电，影响稳定度。 供给电磁透镜的电源，电流稳定度为10-5 数量级，靠稳流线路来保证。除此之外对外线路的稳定性也有要求。 通常要安装专用线，至少同一线路中不能有大的电压和电流冲击，不能与电焊机、热处理炉等设备使用同一线路。 冷却水系统 计算机控制系统 * * CM200-FEG场发射枪电镜 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? 加速电压20KV、40KV、80KV、 160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?? ?????β=±25度 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? EM420透射电子显微镜 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度????? ??β=±30度 Philips CM12透射电镜 加速电压20KV～120K