MOCVD设备的计算机控制.pptVIP

MOCVD设备的计算机控制 目录 设备结构 功能和目的 实现方法 接口和通讯 电路设计流程 检修思路 计算机控制系统结构 设备执行、检测机构 计算机集散控制 阀门I/O组态控制——FFh=255 流量控制计12位D/A, A/D组态控制 计算机集散控制 电磁阀工作原理 电磁阀一般状态：开 1 关 0 可用一位二进制数表示状态 可用一个处理器的输入输出口（I/O）控制 电磁阀开启脉冲： 0.5秒高电压 可用一位二进制数表示状态 可用一个处理器的输入输出口（I/O）控制 可加入I/O信号调制模块 质量流量控制器原理 热式质量流量计 —— 温度信号 输入输出模拟量值。电脑控制时须作A/D、D/A转换 内部用比较器控制流量大小，结构简单 粉尘、液体和油污（30um颗粒）会造成传热毛细孔堵塞 使用特殊气体时需经常清洗 科氏力质量流量计 —— 时间和频率计数信号 输入输出数字值，可直接用I/O口控制 内建PID，控制精确度高 流体中3%的异相含量不会造成影响 专利期内产品，结构精密，价格昂贵 单片机控制及系统结构 MCS-51单片机引脚及功能 MCS-51单片机一般引脚及功能 Vss:接地端。 Vcc:电源端，接+5V。 XTAL1，XTAL2: 接外部晶体或外部时钟 RST/VPD：复位信号输入；接备用电源，保持内部RAM中的数据 ALE/PR