制程排气系统之研究.ppt

* * 半导体厂制程排气系统之研究　 摘要：制程排气系统之设计，不仅须符合流量之要求， 而且应考虑到系统压力平衡、噪音、震动、空间限制以及整体系统成本等相关问题。 本研究以3C风管设计法对半导体厂制程排气系统作一设计。 此3C风管设计法主要包含三个计算步骤：计算机辅助设计(Computer-Aided Design, CAD), 计算机辅助模拟(Computer-Aided Simulation,CAS)以及修正程序(Correction Processes,CP)。 其次，本文以实际案例作说明，以了解此方法的特性。证实此新风管设计方法， 其计算程序简易，且在空间上或流动速度作某种程度的限制之下，同时可兼顾压力平衡。 如此，不但可以缩短设计时程，防止人为计算上的误差，更可减少对设计者经验的依赖。 一、前言 　　半导体工业因产品及制程不断研发与改进，于制程时所使用的特殊气体材料之数目与种类 也随之增加。此意味着排放的空气污染物越多样化，对人体健康及环境品质危害越严重， 因此良好的制程排气系统设计也就有相当的重要性。 而制程排气系统的设计，不但要使传送的风量达到要求， 还必须同时考虑系统的平衡性、噪音、震动、空间限制及系统总成本等诸多问题。 另外，对于半导体厂制程排气系统中，其主要特性有复杂度高、安全要求严格及运转时间长 等三个特性。因此，可归纳出设计时必须注意以下要点： （1）安全考量：决定于风管中的风速是否足够，過低的风速会造成微粒在管中沉积， 而产生潜在性的尘爆问题。 （2）利润考量：半导体厂获利的提高，来自于良率的提升， 而各制程设备的抽气风量是否能足够，是影响良率的直接因素。 （3）成本考量：主要负担来自风机，而风机运转全压愈高，所需成本也就愈高。 　　 → 传统空调风管系统之设计大多采用等摩擦法及速度法。这些方法固然简易， 却无法顾到压力的平衡，以致于所设计出的系统与实际运转的情形不相符合， 因而必须在完工之后，再于现场进行风量的调整，甚而选用过大的风扇来弥补不佳的设计， 增加额外的成本。 Burgess提出以等摩擦法加以改良的压力平衡法（Balanced Pressure Loss Method）， 该方法在每次迭代中都重新计算等摩擦率，而后将其应用在原先全压降较小的路径， 透过减少下游管段的尺寸，来增加该路径的全压损失，如此可使系统达到压力平衡的目的。 而Shieh改善原有的静压再得法，以减化原设计法的计算程序，并确保系统压力平衡的优点， 但和一般传统设计方法一样未包含成本观念而无法达到最佳化的要求。 　　 其次，由Tsal等人提出的T-method是目前为止用于风管设计中最完整也最具威力的工具， 此方法的建立基于非常严谨的数学模式，使用了迭代的计算程序及成本最佳化理论， 可使设计出的系统具有最低的生命周期成本，并且在各路径上都有相同的压力损失， 不必再花多余的时间及成本进行系统的压力平衡工作。 然而T-method计算程序相当繁复， 一个管段在一次迭代中就至少需进行20个计算步骤， 此外T-method对流速或管径的控制性较差， 对于能源成本相对较便宜的情况，可能会有过低的流速； 对于初始成本相对较便宜的情况，可能会有过高的流速。 但于实际风管设计中，考虑空间的大小或噪音等因素， 往往需要限制某些管段的管径或流速，而当限制太多时， T-method不容易得到令人满意的最佳解。 因此，本文提出一新的3C风管设计法，以符合半导体制程排气系统所需， 此法计算程序简单，能在空间或流速限制下，考虑最小成本及压力平衡。 二、3C设计法 　　3C设计法的意义，在于以运转结果来修正系统的设计值，以达到准确设计的目的， 亦即引进回馈设计的观念。3C法的设计原理和动态系统控制的回馈控制极为相似； 回馈控制的原理中，是系统控制组件利用误差讯号，来调整控制的方向。 同样的，这个理念被引进到管路系统的设计上，就成为3C法的基本精神。 对一完整管路系统设计，其已知条件包括有 （1）基本资料：如管路系统配置图、流体物理性质、管壁材质。 （2）管段资料：如管管段之风量、长度、截面形状. （3）配件资料：