Q_FJIRSM 01-2017紫外激光器.pdf

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2018-05-15 发布于湖南
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中国科学院福建物质结构研究所 Q/FJIRSM 01-2017 紫外激光器 2017-08-21 发布中国科学院福建物质结构研究所前言紫外激光器是中科院福建物质结构研究所独立开发的系列产品，为了保证产品质量，本所经过多次实验和技术总结，依据 GB5226.1-2008 的要求编写了此标准，作为组织生产、质量检验、交货验收的依据，其中的各项技术要求将随研究所的技术进步及产品的改进而修改。本标准由中科院福建物质结构研究所提出并归口。本标准由中科院福建物质结构研究所提出并负责起草。本标准首次发布时间： 2017 年 8 月 21 日技术指标1 指标名称：波长（nm) 指标要求： 266nm 测试方法名称：按照GB/T15175-94 第5 章“波长进行” 技术指标2 指标名称：脉冲能量指标要求： 100mJ、150mJ 测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行技术指标3 指标名称：脉冲能量不稳定度指标要求： ≦5% （rms）测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行技术指标4 指标名称：出口光斑直径指标要求： φ6-8mm、φ6-9mm、测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行技术指标5 指标名称：光束发散全角指标要求： ≦0.5mrad 测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行技术指标6 指标名称：脉冲宽度指标要求：6~9ns、7ns~10ns、测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行技术指标7 指标名称：激光脉冲延时抖动时间指标要求： ≦200ns 测试方法名称：按照合同技术协议、检验大纲要求进行