纳米电子学-第一章 绪论.pptVIP

隧穿现象 势垒贯穿（隧穿）是量子力学的独有现象 隧穿研究始终伴随量子力学的发展 研究历史 α粒子核蜕变中发现粒子隧穿 1928年，Fowler发现场致发射 隧穿现象 研究历史 1933年，MIM或MIS绝缘层隧穿 Zener带间隧穿(固体、p-n结) 1950s，Esaki二极管NDR现象 1960s，超导-导体隧穿 隧穿现象 研究历史 1970s，GaAs/AlGaAs共振隧穿二极管（RTD） 尺度变化的直观概念 人手 皮肤 白细胞 DNA分子 纳米电子学相关的特征尺度 费米波长λF——电子波长相关 平均自由程lm——动量相关 相位弛豫长度Lφ——相位相关 屏蔽长度 微电子特征尺度的发展 费米波长（Fermi Wavelength） 定义 费米面附近电子的德布罗意波长λF=2π/kF= ns=5×1011/cm2时，半导体中电子λF约为35nm 费米波长的作用 低温，电流主要由费米面附近电子负载，相关波长 即费米波长 能量低于费米能的电子有较长波长，对电导无贡献 系统尺度接近费米波长，粒子的量子涨落显著增强 系统尺度大于费米波长，粒子的量子涨落明显减弱； 此时，量子相干性遭到破坏 平均自由程（Mean Free Path） 尺度分类 3D体材料——λFLxLyLz 准2D薄膜——λF~LxLyLz 准2DEG