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第2章 电阻式传感器 电阻式传感器是将被测的非电量转换成电阻值变化的器件或装置。 第2章 电阻式传感器 电阻式传感器包括： ①热电阻。 ②热敏电阻。 ③光敏电阻。 ④湿敏电阻。 ⑤气敏电阻。 ⑥磁敏电阻。 ⑦压敏电阻。 ⑧电位器式传感器。 ⑨电阻应变式传感器。 ⑩压阻式传感器。 2.1 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器是利用电阻应变效应做成的传感器, 是常用的传感器之一。由电阻应变片、弹性元件和测量电路组成。应变式传感器的核心元件是电阻应变片(计)。 2.1 电阻应变式传感器 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 2.1.2 电阻应变片的主要参数及工作特性 2.1.3 电阻应变片的测量电路 2.1.4 电阻应变式传感器举例 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 长为L、截面积为A、电阻率为ρ的金属或半导体丝，电阻为 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 将式(2.1)两边微分得 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 KS称为电阻应变敏感材料的灵敏系数，即 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 由于 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 2.电阻应变片的结构 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 电阻丝较细，一般在0.015~0.06mm，两端焊有较粗的低阻镀锡铜丝(0.1~0.2mm)作为引线，以便与测量电路连接。图中，l 称为应变片的标距，或称工作基长；b称为应变片的基宽，或称工作宽度。l×b称为应变片的使用面积。应变片的规格一般是以使用面积和电阻来表示的，如PJ-120型金属电阻应变片的规格为13mm×5mm，120W。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 应变片的分类 应变片有很多品种系列：从尺寸上讲，长的有几百mm，短的仅0.2mm；由结构形式上看，有单片、双片、应变花和各种特殊形状的图案； 就使用环境上说，有高温、低温、水、核辐射、高压、磁场等；而安装形式，有粘贴、非粘贴、焊接、火焰喷涂等。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 主要的分类方法是根据敏感元件材料的不同，将应变片分为金属式和半导体式两大类。从敏感元件的形态又可进一步分成不同类型。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 (1)金属应变片 ①金属丝式应变片 金属丝弯曲部分可作成圆弧、锐角或直角。弯曲部分作成圆弧(U)形是最早采用的一种形式，制作简单但横向效应较大。直角(H)形两端用较粗的镀银铜线焊接，横向效应相对较小，但制作工艺复杂，将逐渐被横向效应小、其他方面性能更优越的箔式应变片所代替。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 ②箔式应变片 它是利用照相制版或光刻腐蚀法将电阻箔材在绝缘基底上制成各种图形的应变片(厚度一般在0.003~0.01mm)。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 箔式应变片与金属丝式应变片相比有如下特点： i.敏感栅尺寸准确、线条均匀，故大批量生产时，电阻值离散程度小。并且可根据不同测量要求制成任意形状。 ii.可制成基长很小的应变片。 iii.敏感栅弯头横向效应可忽略。 iv.箔式应变片敏感栅截面为长方形，表面积大，散热性能好，在相同断面积情况下能通过较大的工作电流，从而能增大输出信号。 v.疲劳寿命长，机械滞后小，蠕变小。 vi.便于批量生产，而且生产效率高。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 ③薄膜式应变片 薄膜式应变片是采用真空溅射或真空沉积等镀膜技术将应变电阻材料镀在基底材料上而形成的应变片(厚度在零点几纳米到几百纳米)。这类应变片的显著特点是灵敏系数大，允许电流密度大，工作温度范围广(-197～317℃)，也可用于核辐射等特殊情况下，易实现工业化批量生产。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 (2)半导体应变片 ①体型半导体应变片。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 ②薄膜型半导体应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积于绝缘体或蓝宝石基片上制成的。 ③扩散型半导体应变片是将P型杂质扩散到高阻的N型硅基片上，形成一层极薄的敏感层制成的。 ④外延型半导体应变片是在多晶硅或蓝宝石基片上外延一层单晶硅制成的。 2.1.1 电阻应变片的基本原理与结构 半导体应变片有如下优点: ①灵敏度高。比金属应变片的灵敏度大几十倍。工作时，不必用放大器