年产1140吨2-6英寸蓝宝石晶体制造项目.docVIP

一、建设项目概况 1．项目背景 人造蓝宝石晶体已成为现代工业，尤其是光电子产业极为重要的基础材料。由于其特有的优异物化性能和经久、耐用性，人造蓝宝石晶体被广泛应用于半导体、微电子、光电子、信息显示、光通讯、激光、精密机械、国防军事及国外内重大科学工程等众多领域。目前世界上只有极少数国家能生出满足衬底质量和尺寸要求的人造蓝宝石晶体和加工人造蓝宝石衬底基片，人造蓝宝石衬底基片的生产和加工技术在西方发达国家也极为保密。我国目前人造蓝宝石衬底基片产品依赖进口，极大的限制了我国半导体、光电子等领域的发展。?6英寸人造蓝宝石衬底基片产业化项目的建设将打破国际上在人造蓝宝石晶体基片制备这一核心技术的垄断地位，对我国半导体、光电子等领域相关产业的发展具有巨大的推动作用。为此高品质人工晶体材料，完全符 项目名称：青海铸玛蓝宝石晶体有限公司年产1140吨2-6英寸蓝宝石晶体制造项目 建设地点：青海西宁（国家级）经济技术开发区南川工业园区 建设性质：新建 建设规模：年产1140吨2-6英寸蓝宝石晶体 建设期：2年 投资总额：万元 3．建设内容 本项目建设生产厂房、仓库、行政办公楼、质检楼及食堂、辅助车间、动力车间等建构筑物，总建筑面积为90000m2。 本项目组成内容见表2-1。 表2-1 项目组成一览表 项目名称 建设内容 主体工程 蓝宝石生产车间 长晶炉1000台、定向仪3套、掏棒机30套 辅助工程 原料库 通风设施、原料运输带 清洗车间 酸洗槽5个、烘箱5台 化学品库 危险化学品存储地面防腐蚀、防渗层，应急设施 公用工程 供电 35KV总变电所二座 供水 纯水站及循环水系统 供热 设置燃气锅炉两台 环保工程 废气处理塔、废水处理站 办公及生活设施 办公楼、食堂、宿舍、浴室等 储运工程 厂区道路、产品仓库等 4.生产工艺 原料（块状氧化铝碎晶粒径为1-10厘米）进入清洗槽用氢氟酸硝酸（1:10）溶液清洗，然后用纯水清洗，最后进入烘干炉干燥，按要求装入料筐内备用。按工艺要求的重量将原材料加入至生长炉内。对生长炉进行加热，炉内温度达到工艺要求后，对炉内温度进行严格控制和保温。晶体生长至要求后，进行退火，使晶体冷却、出炉。经缺陷检测、光学性能检测、重量检测、外观质量检测后，分类送至晶体加工车间用压力水刀切割晶体，切割好的晶体用金刚石水磨机进行抛光加工。 原理：生长晶体采用提拉法单晶炉，将一特制模具放入熔体中，要求模具顶部截面与拟生长的晶体截面形状相同，以生长人造蓝宝石片状晶体为例，如图所示。由于毛细管现象作用，使熔体自毛细管底部上升到顶部，在顶部形成一弯液面。控制导模顶部的温度，使其略高于拟生长晶体的熔点，然后将一定向籽晶放下，使之与模具顶部的熔体液面接触，注意观察籽晶端部的熔化。籽晶顶部与毛细管中的熔体慢慢熔为一体，数分钟后开动提拉机构，由于熔体与新生晶体的亲合力以及熔体表面张力的作用，毛细管中的熔体将在模具顶部展开，直至全部覆盖。从而形成由模具边缘所限定的具有一定厚度的熔体液膜。由此液膜中缓慢提拉，即可得到所需形状的晶体。 图 图3-2 生产工艺流程图 5.产业政策符合性分析 本项目属于国家发改委颁布的《产业结构调整指导目录（2011本）》 “鼓励类”十二、建材”中的“8、信息、新能源、国防、航天航空等领域用高品质人工晶体材料、制品和器件生产装备技术开发；高纯石英原料、石英玻璃材料及其制品制造技术开发与生产；航天航空等领域所需的特种玻璃制造技术开发与生产”及第二十八信息产业的第42条“半导体照明衬底、外延、芯片、封转及其材料等。”条目。因此，本项目符合国家相关产业政策。 5.1本项目与规划相符性分析 《西宁（国家级）经济技术开发区南川工业园区规划环境影响报告书》指出，园区发展方向上致力于“高新技术、特色产业、循环经济、科技研发、自主创新、节能减排、生态文明”的新型工业化目标；在产业定位上围绕高新技术项目发展太阳能光伏、光热 产业；本项目属于太阳能电池片生产项目，因此符合园区规划。 5.2项目选址合理性分析 按照西宁市城市总体规划和西宁市土地利用规划，西宁（国家级）经济技术开发区南川工业园区规划的功能格局为“一心三轴三园两基地”：一心：园区东北部的行政办公、商业金融、科技研发中心；三轴：沿原西久公路区段的主要发展轴、沿东山跟过境公路段的次要发展轴、沿南川河的滨河景观轴；三园：园区东北部的纺织产业园、中部的加工制造产业园、中部的新型材料产业园；两基地：园区东北部的孵化基地、中部的仓储物流基地。根据西宁经济技术开发区南川工业园区管理委员会土地规划建设局说明，本项目厂址位于园区中部“原规划中机械制造用地，根据园区实际及产业定位要求，现调整为新材料新能源用地，修改后的规划已上报至市政府待批“（西宁经济技术开