微水刀激光加工技术及其应用.pdfVIP

产品与技术 ProductsTechnology 微水刀激光加工技术及其应 用 LaserMicrojettechndogyanditsapplication 激光以其 良好的灵活性和更高的加工速度在众 压力水射流，激光束在水射流里面以全反射方式沿水 多领域得到广泛 的应用。但是传统的激光应用技术 射流传播，这样就可通过压力水射流引导激光束，而 由于存在污染 、热效应等问题 ，在精密加工领域遇 不会造成太大的能量损失。 到了一些制约。一种新的激光应用技术 ，将激光束 水射流冲击到工件上 ，其引导的激光脉冲顺着 和喷射水柱结合在一起，能够克服传统激光应用技 水流达到工件表面。被加工材料吸收激光脉冲的能 术的缺点，为激光的应用开辟 了新的应用领域 。将 量而熔化或气化，水射流冲走被熔化的材料 ，实现 喷射水柱和激光束结合在一起，加大了激光加工的 对材料的激光加工 。而在两个激光脉冲之间，水射 深度 ，消除了与发热相关 的各种问题 ，从而将激光 流对被加热的工件材料进行冷却，防止被加工材料 加工技术应用到那些传统的激光加工技术无法应用 因受热而发生结构变化。 的领域。 微水刀激光技术 的特点 1．基本原理 压力水射流 的直径在一定 的长度 内稳定不变 ， 传统的激光加工技术是通过透镜聚焦 ，将激光 这个长度取决于喷嘴的直径和工作水压 ，最长可达 能量集中到焦点上，其能量密度能够熔化材料，实 到水射流直径的1000倍左右 。因而这种水射流引导 现对被加工材料的加工 (图la)。但 由于聚焦激光的 的激光束的工作距离可以达到几个厘米 ，远远大于 工作长度小 ，通常小于Imm，因而必须要有一套聚焦 传统激光加工技术的工作距离，而且还不需要聚焦 控制系统，将激光正确地聚焦到工件上。 控制系统。若超过稳定的长度后，水射流的形状将 1993年瑞士洛桑理工大学应用光学研究所的科 不再成圆柱状 ，而是变成液滴 ，这时激光束将 以漫 学家们成功地实现 了用水射流引导激光束 ，并将这 反射方式离开水柱 。在这种方式下，激光束的能量 一 技术应用到实际加工中。这种加工技术被称为微 分散，不会产生材料的烧蚀。 水刀激光技术 (LaserMicrojet@)，其原理 (图1b) 在激光束与水柱耦合过程中，水箱和喷嘴的几 是将激光束穿过一个压力水箱 ，聚焦到一个喷嘴 中。 何参数起着决定性的作用 。而激光束的直径只取决 水箱 中的压力水在喷嘴的下面形成一个非常细小 的 于喷嘴孔的直径，因而传统的激光切割加工遇到的 问题，如激光束椭圆度、散光和偏振等引起的不连 续性 以及方向依赖性将不再存在 。 水射流的作用除了引导激光束之外，他还能起 到冷却工件、清除熔化的材料、减少粉尘污染等作 用 。 困扰传统 的激光加工技术在精密加工 中的应用 有两大 问题 ，即热影响和污染 。激光加工是 以烧蚀 材料 的方式实现对工件的