晶圆工作台运动精度数据采集及处理.pdfVIP

测控技术 机机电电工工程程技技术术 年年第第 卷卷第第 期期 !# $% $ 2008 37 03 晶圆工作台运动精度数据采集及处理’ 刘建奇,李克天,刘吉安,黄向修,翁纪钊 (广东工业大学机电学院, 广东广州 ) 510006 摘要:本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统。该系统通过在运行过程中适 当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量。 关键词: 工作台;光栅尺;数据采集卡;数据处理;送片精度 XY 中图分类号: + 文献标识码: 文章编号: TP274.2 A 1009-9492(2008)03-0020-02 轴和 轴上,读数头随 轴和 轴运动,实时检测工 1引言 X Y X Y 作台 轴和 轴的运动位置,并把检测到的位置信息发 芯片粘片机是一种高速高精度的机电一体化设备,是 X Y 芯片封装的关键设备之一。其作用是将晶圆 ( )上的 送给数据采集卡;计算机程序控制数据采集卡负责接收光 wafer 芯片颗粒拾起并粘焊到引线框架 ( )上,再经过 栅尺发送的位置信号,并与 PC机通信;应用程序在 PC leadframe 焊线、塑封、测试等工序,可生产出三极管、集成电路等 机上运行,测量分析结果在显示器中显示,并可保存、打 半导体元件。粘片机的晶圆传送机构,是一个XY工作台, 印和输出。 [] 1 由两个步进电机驱动,工作过程由程序控制 。 芯片的尺寸很小,大约 0.2nm×0.2nm,它们有规则地 分布在晶圆上,晶圆的直径有 寸、 寸、 寸等多种规 6 8 12 格。工作台的 轴和 轴协调运动,按一定规律把晶圆上 X Y [] 2 的芯片送到拾片点,完成送片任务 。 由于各种因素的影响,如机械的传动误差和驱动控制 图1 工作台送片精度检测系统 [] 3 系统的误差等都会使工作台的运动产生误差 ,影响芯片 的准确传送。虽然实际工作时通过图像识别系统控制芯片 3数据采集 的传送和定位 (该系统是一个闭环的控制系统),但 工 测试时 工作台的运动流程设置 XY 3.1 XY 作台和驱动控制装置的误差必须达到设计要求,特别是在 工作台送片的工作流程如图 (左)所示,根据晶圆 2 整个工作区间的误差值必须均衡,误差必须分布在合理范 中芯片之间的位置间隔大小,工作台的一个工作循环移