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深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 高科技产品制造业中离子风机使用基础 Arnold Steinman 译文：华诺丰源 刘斌 多种改变离子风机的负载技术将会影响绝缘材料上静电控制 在高科技产品生产厂，控制静电是提高生产效率，改善品质，增加利润的基础。在半导体、硬 盘和平面显示（FPDs ）的生产中，静电控制是基本的生产条件之一。如果不能控制静电就意味着 产品要因静电引力造成大离子污染（ESA 问题）和静电放电（ESD 问题）而受到损伤。 美国静电协会（ESD Association）和国际半导体设备和材料协会（Semiconductor Equipment and Materials International）等组织都有消除静电问题的静电控制体系。这其中主要的方法是 使用静电导电材料和静电耗散材料（包括人体）直接接入大地以消散静电。 然而，产品本身和工作环境都不可避免地会使用绝缘材料。当绝缘就是材料产品本身的组成部 分时，你就无法清替换。例如，高科技产品制造中会使用含有氧化层的硅片，环氧树脂封装的单 导体器件，器件引脚上的绝缘材料，环氧树脂印刷线路板，FPDs 行业中的玻璃片。此外，特氟隆、 石英以及许多塑料材料具有耐高温、耐腐蚀以及洁净室兼容的特性，但它们都是绝缘材料。接地 不能消除绝缘材料上的静电荷，因此绝大多数情况剩下唯一的办法就是使用空气离子化进行中和 处理。 尽管多数的静电控制体系中都推荐使用空气离子化措施，但它们却很少在文件当中说明空气离 子化的程序以及在生产中使用离子化设备的影响。由于使用空气离子化控制静电对于许多行业来 讲非常重要，希望通过本文能为空气离子化的用户提供一些被忽略的信息。 空气离子化的划分 “离子（Ion）”一词来源于希腊语，原为动词，是动作的意思，有旅行者的含义。作为术语 使用最早是用于描述对不同的溶液通电的效果：此时分子将电离并向与自己相反的电极移动。瑞 典学者 S. A. Arrhenius 的理论认为移动的离子（ion）是带电荷的原子，这一理论在电子被发现 后得以证实。 离子可以定义为失去电子或获得电子的原子或分子。电子是电荷转移的唯一载体。当一个原子 或分子具有相同数量的电子和质子时，它的电荷是平衡的，或者说是中性的。如果失去一个电子， 则该原子或分子带上正电荷，成为正离子；得到电子则成为负离子。 但是空气离子或带电荷的空气分子却不是这种情况。空气是一种混合气体，由氮气、氧气、二 氧化碳、水蒸气以及其他一些微量气体组成，其中一种或几种都可以离子化。某些时候，双原子 结构的气体分子，包括氮气和氧气可以获得或失去电子，但另一些时候，化合气体如二氧化碳也 1 地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755传真：+86-755 深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 能够如此。无论何种情况，当空气中一种或一种以上的气体分子获得或失去电子的时候，我们称 之为空气离子化。与溶液离子不同的是空气离子化需要一定的能量才可形成。 通常情况下，未经过滤的空气，空气离子是以气体分子团形式存在的，10 个中性气体分子包 裹在一个带电的分子周围。带电分子可能是氧分子、水分子或氮分子。在这里我们称之为小空气 离子。小空气离子会做相对运动，在遭遇相反电荷的离子或接地表面后，它们会失去电荷，又恢 复为中性分子。在洁净空气中，小空气离子的寿命在几秒钟到几分钟之间。 在适当的条件下，