纳米压印光刻机压印头的设计和数字建模设计说明书.docVIP

青岛理工大学 毕 业 设 计（论 文） 题目 纳米压印光刻机压印头的设计和数字 建模建模 学生姓名： 学生学号： 指导教师： 机械工程 学院 机械设计制造及其自动化 专业 班 2011年6月15日 毕业设计（论文）任务书 专业 机械设计制造及其自动化 班级 姓名 下发日期 20-3-6 题目 专题 主 要 内 容 及 要 求 主要技术参数 进 度 及 完 成 日 期 教学院长签字日 期 教研主任签字 日 期 指导签字 日 期 指导教师给定成绩(30%) 给定成绩(30%) 答辩成绩 （40%） 摘要 纳米压印光刻技术作为一种新的技术，存在许多不足之处。本论文的设计方案有助于增大纳米压印光刻机的压印尺寸，根据此方案对压印头进行设计和数字建模。 在保证压印头的各种功能的基础上，对压印头进行总体设计，进而对其各个单元、零件进行设计，其中包括：压下系统中的各个零件、压印系统的各个零件、气路系统、光源固化系统。并根据要求进行了伺服电机、传动部件的计算和初步选择。 关键词：压印头；精密加工；纳米压印；大面积压印  Abstract Nano stamping photolithography technology as a new technology, there are many disadvantages. In this paper, the design scheme of the help increase pressure seal nano scanner stamping size, according to the plan on the pressure seal head on design and digital modeling. In guarantee stamping head all sorts of functions of the foundation, on the head in overall design printed, and the various units, parts design, including: under the pressure of the system of each part, stamping system of each part, pneumatic systems, light curing system. And according to the requirements for servo motor, transmission parts of the calculation and the primary choice. Key words: the pressure seal head; Precision processing; Nano pressure seal; Large area stamping;  目录 摘要 I Abstract II 目录 III 第一章 绪论 1 1.1光刻压印技术 1 1.2纳米压印技术及其发展 5 1.3本论文研究的主要内容和意义 14 第二章 压印头总体结构设计 15 2.1纳米压印方案 15 2.2压印头的总体结构形式 17 2.3常见压印头的结构形式 20 2.2.1热压印 22 2.2.2微区纳米压印 22 2.2.3滚动式纳米压印 23 2.2.4气囊气缸式真空紫外纳米压印 23 2.4压印头的总体结构设计要求 24 2.4.1 压印头结构性能要求 24 2.4.2压印头其他要求 25 2.5压印头的总体结构的确定 27 第三章 压印头的建模 29 3.1压印头各个零件设计 29 3.1.1压下系统零件设计 29 3.1.2压印系统零件设计 33 3.2压印光刻机压印气路的设计 36 3.3固化光源的设计 37 3.4伺服电机的选择 38 3.5传动部件的选择确定 41 3.5.1丝杠的选择 41 3.5.2联轴器的选择 44 第四章 结论 46 参考文献 47 致谢 49 附件1 50 附件2 22 第一章 绪论 1.1光刻压印技术 同时，蓝图的延伸将仍然需要发展下一代光刻技术，例如EUV、无掩模（ML2）、压印光刻。因为下一代光刻将需要发展完全新的架构，因此，将其视为经济生产问题来进行也成为主要挑战之一。 压印光刻技术既可以在大面积基片上重复、大批量地制备各种纳米图形结构，通过并行处理制备多个零件，也不需要极为复杂昂贵的光学镜头和光学系统、电子聚焦系统，同时又避免了光学曝光中的衍射和电子束曝光一起的散射现象，分辨率可达几个纳米，因此具有强大竞争力，从根本上展示