真空技术系列试验试验指导书-东北大学教师个人主页.PDFVIP

    《真空技术系列实验》实验指导书 机械工程与自动化学院  指导教师：李建昌 教授 实验地点：机电馆 329B、机 118B 实验时间：据老师和班长通知 实验：16 学时 学分：1.5 分 真空与过程装备实验室 2017 年 10 月 1 一、实验内容 实验一、   真空计实验 1 实验目的 通过实验了解真空计的结构特点及工作原理。 2 实验装置 FZH‐1A 复合真空计，DL‐8A Ⅱ型电离真空计，真空规管，如下图所示。 3 实验要求 1）通过查找资料了解真空计的测量原理，掌握测量方法及其应用范围，完成预 习报告。 2 ）通过拆装真空计，了解内被结构特点。 实验二、   涡旋泵拆解实验（地点：机 329A ） 1 实验目的 通过实验了解涡旋泵的结构特点及工作原理。 2 实验装置 VARIAN 干式涡旋泵，如下图所示。 3 实验要求 1）通过查找资料了解涡旋泵的原理及应用场合，完成预习报告。 2 ）拆卸泵之后要还原到原状态，工具归位，整理好实验台。 实验三、   真空系统组装实验（地点：机 329B ） 1 实验目的 掌握简单真空系统的搭建，认识真空系统中的各个部件及每部分起的作用。 2 实验装置 在真空系统中，主要由真空获得部分，真空管道，真空室，真空测量部分等组成， 2 实验室有关这些配件的清单见附录，部分配件示意图如下。 3 实验要求 1）查找相关资料，了解真空配件的型号意义，并利用实验室现有设备自行设计 一套真空系统，要求真空系统的真空度至少达到 0.1Pa 。 2 ）该套真空系统应配有真空测量装置，以及阀门等必要配套设施。 3 ）实验前设计出真空系统的搭建方案，列出所需部件，绘制出真空系统组成简 图，经过任课教师检查后安排实验时间。 实验四、   真空物理综合蒸发镀膜实验（地点：机 118B） 1  实验目的    掌握真空综合镀膜系统的结构、设计、组成、工作原理，通过现场实际薄膜样 品的制备，获得真空镀膜的相关直接认识，了解各种镀膜技术原理和应用背景。 2  实验系统    真空物理综合实验平台在机电馆 118B，为本所李建昌老师总体设计，沈阳科仪 具体承接设计加工，具备真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、原位真空器件的制备和 表征、离子清洗等功能。 3  实验报告    画出