feptpbzrxti1xo3集成薄膜的结构和性能的分析word格式论文.docx

摘要摘要采用溶胶-凝胶法制备Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)铁电薄膜，用磁控溅射法生长(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO)和FePt电极，制备了LSCO/PZT/LSCO铁电电容器和FePt/PZT集成薄膜。采用现代分析方法对样品的结构和性能进行了研究。在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备了LSCO/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/LSCO和LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCO两种铁电电容器。研究发现：两种不同组分的四方相PZT均为多晶钙钛矿结构；Pb(Zr0.2Ti0.8)O3较Pb(Zr0.4Ti0.6)O3具有更大的剩余极化强度和矫顽场，这是因为它的矩形度(c/a)较大；两种电容器均具有较好的脉宽依赖性和抗疲劳性。通过对漏电流拟合分析发现：在0-5V的范围内，两种铁电电容器都满足欧姆导电机制。在SrTiO3(STO)单晶基片上制备了外延LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCO铁电电容器。X射线衍射图谱和??扫描图表明Pb(Zr0.2Ti0.8)O3为(001)取向的外延薄膜；LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCO铁电电容器具有优良的铁电性；通过对铁电电容器介电性的研究发现：随着测试频率的增大，介电常数减小。当频率大于40kHz时，介电常数随外加电场变化的关系曲线呈现为倒置的蝶形曲线。采用溶胶-凝胶法制备PZT薄膜，利用直流磁控溅射法生长FePt薄膜，在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备了FePt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/Pt异质结铁电电容器。研究发现：Pb(Zr0.4Ti0.6)O3为结晶良好的多晶钙钛矿结构；FePt表现为软磁性；该铁电电容器具有良好的铁电性。在外加磁场作用下，Pb(Zr0.4Ti0.6)O3的剩余极化强度减小，说明FePt和Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 之间存在磁电耦合效应。在STO单晶基片上构架了具有良好铁电性的FePt/a-Ti-Al/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCO异质结铁电电容器。研究发现：Pb(Zr0.2Ti0.8)O3为(001)取向的外延薄膜；FePt经过高温真空退火后，该铁电电容器保持了一定的铁电性和铁磁性，说明a-Ti-Al阻挡层确实起到了一定的防止氧扩散的作用。关键词：FePtPb(ZrxTi1-x)O3铁电性磁电耦合AbstracAbstract(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO)/Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)/(La0.5Sr0.5)CoO3ferroelectriccapacitorsandFePt/PZTheterostructureshavebeenfabricated,inwhichPZTferroelectricthinfilmswerepreparedbysol-gelandLSCOandFePt electrodesweremadebymagnetronsputtering.LSCO/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/LSCOandLSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCOferroelectriccapacitorshavebeenfabricatedonPt(111)/Ti/SiO2/Sisubstrates.TheX-raydiffractionpatternsshowthatthetetragonalPZTfilmswithdifferentcompositionarepolycrystallineandwell-crystallizedperovskitestructure.ThePrandVcofPb(Zr0.2Ti0.8)O3arehigherthanPb(Zr0.4Ti0.6)O3,whichismainlycontributedtoitslargertetragonality.Boththecapacitorshavegoodpulsewidth-dependenceandfatigueresistance.Byfittinganalysis,both thecapacitorssatisfiedtheohmicconductivebehavior at0-5V.LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/LSCOferroelectriccapacitorshavebeenfabricatedontheSrTiO3(STO)singlecrystalsubstrate.X-raydiffractionpatternsandthe??scanshowthatPb(Zr0.2Ti0.8)O3areepitaxyfilmswith(001)orientation.Thecapacitorsyieldexcelle