Schmid太阳能电池片设备介绍（中）.ppt

2.2设备基体介绍 刻蚀槽 * 主机电脑控制——实现人机交流 电脑界面 急停开关 设备电源开 设备电源关 报警复位 维修开关 滑动窗口开关 SCHMID大致构造： 上 片 （喷 水） 刻蚀槽 H2SO4/ HNO3/ HF 水 喷 淋 碱洗槽 NaOH 水 喷 淋 去PSG槽 HF 水 喷 淋 下 片 吹 干 风 刀 1.“一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。 2.除刻蚀槽和第一道水喷淋之间用吹液风刀外，其他槽与槽之间的液体隔绝使用的是海绵滚轮。 3.化学槽均采用的是浸泡结构，水冲洗采用的是喷淋结构。 4.不同于RENA的阀门控制，SCHMID的风刀风量采用数字控制，并且带一定温度。 整个设备按模组分为8个： 上片 传入感应器 喷淋口 手动喷头 滚轮 电导率测试仪 气动阀 1.传送滚轮 注意：每道滚轮的顺序位置都有严格的规定，不能随意调换，切记！ 滚轮共有三种： 海绵滚轮 毛吸滚轮 活动滚轮 注：一洗无 2.传入感应器及喷淋 传入感应器功能：感应硅片，并且计数。在M01的参数设置里可以设置叠片的报警数量，以及定义硅片最大长度。 传入感应器 喷淋 喷淋功能（二洗专有）：在表面喷水膜，一是稀释底部跑上来的酸，一是阻挡空气中的酸气，腐蚀N型层。 Delay valve231 track： 定义感应器和喷水口的距离 Shorten valve231 track：定义喷水停止时的硅片长度。 3.手动喷头 在每个化学槽的前面和后面均有手动喷头。 功能：1.清洗化学槽各部分。 2.皮肤沾到药液可及时冲洗。 在M01模组的控制里，点击此按钮，可以在开机状态下使用手动喷头。 6.电导率 功能：检测液体的电导率。 此仪器非SCHMID生产，所以可能存在测不准确或者标准不一样的情况。 但MO4碱洗槽盒和M06酸洗槽的电导率以此表为准。 SCHMID GF 现在纯水电导率以在M03槽背后的GF纯水监测仪为准。 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 1.刻蚀槽 2.计量盒 3.6个流量计 4.储液罐 5.抽水泵 6.过滤芯 7.抽水泵（防止酸泄露） 8.冷冻机 9.三通阀门 10.排风 一洗 1.刻蚀槽 主要制绒工艺所在地——刻蚀槽，整个槽的材质为PVDF，滚轮可自由活动，以减少碎片。整个液位高度主要由酸流量来控制，内置温度感应器，温差范围为±0.5℃。 2. 计量盒 计量盒，主要是在设备开机时向储液罐添加药液用，停机时不能使用。其额定容量为3L，刻度范围为0-2100ml，如液体高于2100ml时，就开始溢流入储液罐中。在软件控制中，如液体低于100ml时，供液系统自动向计量盒添加液体，添加至1800ml则不再添加。 3. 6个流量计+6个手动控制阀 液体从储液罐流向刻蚀槽共有六道管路，主要控制溶液的流速和蚀刻槽的液位高度，每个管路还有六个手动控制阀门，其上有刻度，可以手动控制液体在各个管路流量配比，手动控制阀门的总流量要大于软件上设置的流量。 手动控制阀门 4.储液罐 储液罐容量范围为279-460L,如果停机时，液位低于此范围则会出现报警，高于此范围则液体会溢流入排废管道中。配液时，供液系统直接向储液罐输送液体，供液也有严格的顺序要求：纯水→HF →HNO3，如果第一种液体未不满，则第二种液体不会输送。开机时不能通过“配槽”命令补液，只能通过计量盒对储液罐进行添加。 液位感应器 注：如果出现警报“not supply XXX”,则大部分是某药液已用空，需换液。 * *