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实验指导书 教学单位：电子信息学院 课程名称：集成电路工艺基础 面向专业：电子科学与技术 电子科技大学中山学院 2013年9月 实验指导书 实验名称：实验一使用ATHENA软件仿真MOS管工艺 学时安排：4学时 实验类别：综合性 实验要求：必做 ￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣ 一、实验目的和任务 随着IT产业的迅猛发展，微电子集成电路在通讯、计算机及其他消费类电子产品中的重要地位日益突出，而IC的生产和设计技术水平是决定IC芯片性能的两大要素。实验是设计的环节，是基于微电子技术应用背景和《》课程设置及其特点而设置的。其目的在于：通过本实验使学生能基本掌握IC的学习并掌握国际流行的仿真软件的使用方法，加深对课程知识的认识 二、实验原理介绍 ATHENA是Silvaco公司开发的一种很优秀的最大的特点是可用于任何个人计算机(PC机)工作站或微机终端 一台 局域网 仿真软件 1套 \Silvaco\lib\Deckbuild\3.0.1.R\x86-NT中直接运行Deckbld.exe即可。 图1-1为DeckBuild界面。顶部是工具栏、编辑菜单和命令条按钮。工具栏菜单有File、Command、Execution、Examples等。Command子菜单提供简单的抽取语句、显示当前结构和工艺优化的功能。工具栏下是新建、打开、保存、剪切、复制、粘贴和撤销等常用编辑操作。第三栏是命令条按钮，意义如下：Run-从上至下执行或执行到断点（即Stop at line的“line”）时结束；Stop-执行完当前行就停止；Next-运行下一行就停止；Continue-在之前停止运行的行开始往下运行；Initialize-从仿真历史初始化；Kill-立即结束；Line-重置当前行为选择的行；Stop at line-设置断点。 上部窗口是命令输入和编辑窗口。下部窗口是实时输出窗口，输出当前的仿真状态。底部是状态栏。工作路径可由EditPreferencesWorking Directory进行查看或更改。 图1-1 DeckBuild界面 1.1 定义网格 在工艺仿真之前需要先定义衬底，在衬底的基础上再经过一系列工艺步骤来生成结构。Silvaco TCAD是基于网格计算的仿真工具，也就是在网格处计算其特性，而且网格点（node）的总数Np不能超过20000个。网格点的多少决定了仿真的精确程度和快慢，所以合理的定义网格分布很重要。 定义网格线的命令line，参数有x、y、location（通常简写成loc）和spacing。x和y参数设定网格线垂直于x轴或y轴，loc设定网格线在轴上的坐标，spacing设定网格线间的间距（loc和spacing的默认单位是μm）。如果在几个loc处的spacing都是一样大小，那么网格线就是均匀分布的。如果spacing不一样，那么软件会自动调整，尽量使loc的spacing和设定的值一样，这时网格线就不是均匀的了。 均匀网格的例子，结果如图1-2所示。 line x loc = 0.0 spacing=0.1 line x loc = 1 spacing=0.1 line y loc = 0 spacing = 0.20 line y loc = 2.0 spacing = 0.20 非均匀网格的例子，结果如图1-3所示。 line x loc = 0.0 spacing=0.02 line x loc = 1 spacing=0.1 line y loc = 0 spacing = 0.02 line y loc = 2.0 spacing = 0.20 对于图1-2和图1-3，衬底范围大小是一样的，除网格线的分布不一样外，网格点数也有差别（图1-2为121个点，图1-3为546个点）。 图1-2 均匀网格 图1-3 非均匀网格 1.2 衬底初始化 网格定义了之后就是对衬底进行初始化，初始化的命令是initialize（可简写为init）。 1.3 工艺步骤 ATHENA工艺仿真器可以对很多工艺进行仿真，具体工艺步骤将在下一节会涉及到。 1.4 抽取特性 工艺仿真得到结果的形式有仿真得到的结构文件*.str，或是抽取的特性如材料厚度、结深、表面浓度、方块电阻等等。Extrat有内建的一维QUICKMOS和QUICKBIP，可以在工艺仿真器重抽取得到器件结构的信息，如一维结电