半导体气体传感器 传感器课件知识介绍.pptVIP

第十四章 气体传感器 14.1 概述 气体传感器是指能将被测气体浓度转换与其成一定关系的电量输出的装置或器件。气体传感器必须满足下列条件： （1）能够检测爆炸气体的允许浓度有害气体的浓度，并能及时给出报警、显示和控制信号。 （2）性能长期稳定性好； （3）响应迅速，重复性好； （4）维护方便，价格便宜等。 14.2 半导体气体传感器 ? 1. 半导体气体传感器是利用半导体气敏元件同气体接触,造成半导体性质发生变化,借此检测特定气体的成分及其浓度。 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。  2. 分类 气体传感器利用半导体与气体接触时电阻或功函数发生变化这一特性检测气体。气体传感器分为电阻式与非电阻式两种。 电阻式采用SnO2、ZnO等金属氧化物材料制备,有多孔烧结件、厚膜、 薄膜等形式。根据半导体与气体的相互作用是发生在表面还是体内，又分为表面控制型与体控制型。 非电阻式气体传感器利用气体吸附和反应时引起的功函数变化来检测气体。它可分为： 金属-半导体结二极管型传感器（利用金属与半导体界面上吸附气体时，二极管整流特性的变化）； MOS二极管型传感器（采用MOS结构，通过C-U特性的漂移