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深加工玻璃之镀膜玻璃 玻璃工艺学 知识介绍.ppt
深加工玻璃 主 讲：宁海霞 绵 阳 职 业 技 术 学 院 2009-7-28 普通硅酸盐工艺学 镀膜玻璃 提 纲 玻璃上薄膜的形成 真空阴极磁控溅射法 化学沉积法 真空蒸镀法 凝胶法 化学镀膜法 镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求 一、玻璃上薄膜的形成 1、薄膜干涉的理论和镀膜玻璃的膜层设计 ★ 光的干涉现象 光线入射到薄膜上，经反射和折射后，经人眼会聚一点，发生干涉现象，光程差等于半波长的偶数倍，人眼看到B处的是亮的，光程差等于半波长的奇数倍时是暗的。 B ★ 光程差： （k=1、2…） 干涉加强 （k=0、1、2…） 干涉减弱 ★ 膜层设计： 增透膜时，相消干涉来减少反射，即 增反膜时，相长干涉来减少透射，即 溅射原理图 2、特点 ★ 膜厚可控性和重复性好； ★ 膜层与基片的附着力强； ★ 可以制造特殊材料的膜层； ★ 膜层纯度高； ★ 磁控溅射速度高，基片温度低 3、工艺流程 玻璃原板 人工检验 装片 洗涤干燥 人工检验 抽真空 入口等待 缓冲室 溅射Ⅰ 溅射Ⅱ 溅射Ⅲ 直流电源 反应气体 工作气体 出口室 缓冲室Ⅱ 出口洗涤干燥 输送 成品检验 抽真空 4、品种及性能 （1）按产品的性能分类： ★ 阳光控制玻璃 ★ 低辐射膜玻璃 ★ 玻璃镜 ★ 导电玻璃 ★ 反反射膜玻璃 ★ 低辐射阳光控制膜玻璃 高透型LOW-E 遮阳型LOW-E 双银LOW-E （2）性能： ★ 控光及节能（两个参数：Sc和U） ★ 美学性能（装饰效果） ★ 导电性能 ★ 单向透视或隐形性能 ★ 化学稳定性及耐磨性能 5、生产镀膜玻璃需注意的工艺事项 玻璃需新鲜 镀膜前清洗的质量要高 玻璃在运输及储存中要防止雨淋 清洗后的玻璃不能用裸手触摸 镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求 反应溅射镀膜要准确的控制好反应气体的用量 溅射电流、电压等工艺参数要稳定 本方法只适用于生产阳光控制玻璃 三、化学沉积法 1、原理 利用气相物质通过化学反应在基体表面上形成固态薄膜的一种方法。 2、影响化学沉积法镀膜的因素 ★ 气体物质的浓度 ★ 安装镀膜反应器处的玻璃温度 ★ 反应副产物及未反应物的排出速度 ★ 玻璃拉引速度
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