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一种用于光刻模拟的新光源模型.pdfVIP

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  • 2018-06-04 发布于河南
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一种用于光刻模拟的新光源模型.pdf

    一种用于光刻模拟的新光源模型

    ( ) 第 6 卷第 5 期 江 南 大 学 学 报 自 然 科 学 版 Vol . 6 　No . 5 　 　 　　　　 2007 年 10 月 Journal of Jiangnan University( Natural Science Edition) 　 　　　 　 Oct . 　2007 文章编号 :167 1 - 7 147 (2007) 05 - 0528 - 04 　 一种用于光刻模拟的新光源模型 李智峰 , 　史 峥 , 　陈 晔 (浙江大学 超大规模集成电路研究所 ,浙江 杭州 3 10027) 摘

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