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第7章 节 环境量检测传感器.ppt
2.相对湿度 相对湿度为待测气氛中水汽分压与相同温度下水的饱和水汽压的比值的百分数。这是一个无量纲量,常表示为%RH,其表达式为 ( 7 – 3 ) 式中, 为待测气氛的水汽分压; 为待测气氛温 度相同时水的饱和水汽压。 3.露点 在一定大气压下,将含水蒸气的空气冷却,当降到某温度时,空气中的水蒸气达到饱和状态,开始从气态变成液态而凝结成露珠,这种现象称为结露,此时的温度称为露点或露点温度。如果这一特定温度低于0℃ ,水汽将凝结成霜,此时称其为霜点。通常对两者不予区分,统称为露点,其单位为℃。 湿敏元件是指对环境湿度具有响应或将湿度转换成相应可测信号的元件。湿度传感器是由湿敏元件及转换电路组成的,具有把环境湿度转变为电信号的能力。 降低温度会产生结露现象。 测量露点的仪器 露点传感器 4.湿度传感器的主要特性 (1) 感湿特性:湿度传感器的特征量(如电阻、电容、频率等)随湿度变化的关系,常用感湿特征量和相对湿度的关系曲线来表示。 (2) 湿度量程:表示湿度传感器技术规范规定的感湿范围。全量程湿度为(0~100)%RH。 (3)灵敏度:湿度传感器的感湿特征量(如电阻、电容等)随环境湿度变化的程度,也是该传感器感湿特性曲线的斜率。由于大多数湿度传感器的感湿特性曲线是非线性的,因此常用不同环境下的感湿特征量之比来表示其灵敏度的大小。 (4) 湿滞特性:湿度传感器在吸湿过程和脱湿过程中吸湿与脱湿曲线不重合,而是一个环形回线,这一特性就是湿滞特性。 (5)响应时间:在一定环境温度下,当相对湿度发生跃变时,湿度传感器的感湿特征量达到稳定变化量的规定比例所需的时间。一般以相应的起始湿度和终止湿度这一变化区间的90%的相对湿度变化所需的时间来计算。 (6)感湿温度系数:当环境湿度恒定时,温度每变化1℃ 所引起的湿度传感器感湿特征量的变化量。 (7)老化特性:湿度传感器在一定温度、湿度气氛下存放一定时间后,其感湿特性将发生变化的特性。 7.2.2 湿度传感器的工作原理 1. 电阻式湿度传感器 电阻变化型湿度传感器根据使用湿敏材料的不同可分为高分子型和陶瓷型。 ZrO2系厚膜型湿度传感器的感湿层是用一种多孔ZrO2系厚膜材料制成的。其结构示意图及输入输出特性如图7-12所示。根据检测情况加热装置对湿敏元件进行加热清洗,对于湿敏陶瓷在500℃以上进行几秒钟的加热,从而清除陶瓷的污染,使其重现原来的性能。 陶瓷材料在温度200℃以下时的电阻值受温度影响比较小,当温度在200℃以上时呈现普通的热敏电阻特性。这样加热清洗的温度控制可利用湿敏陶瓷在高温时具有热敏电阻特性进行自动控制。 湿度检测动画演示 (a) ZrO2 结构示意图 1-电极引线 2-印制的ZrO感湿层(厚为几十微米) 3-瓷衬底 4-由多孔高分子膜制成的防尘过滤膜 5-用丝网印刷法印制的 Au 硫状电极 100% 20% 40% 60% 80% RH (b) 输入输出特性 《自动检测技术》 第7章 环境量检测传感器 本章学习的主要内容: 7.1 气敏传感器 7.2 湿度传感器 7.1 气敏传感器 在工业生产和日常生活中,气体成分或含量对质量、环境、安全等具有相当重要的价用。 气敏传感器就是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件,它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号,根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息,从而可以进行检测、监控、报警;还可以通过接口电路与计算机组成自动检测、控制和报警系统。 家庭用煤气报警器 7.1.1 气敏传感器的类型与特性 1.气敏传感器的类型 2. 气敏传感器的特性 (1)初期稳定特性; (2)响应复归特性; (3)灵敏度; (4)选择性; (5)时效性和互换性; (6)环境依赖性。 气敏电阻工作原理动画演示 气敏传感器工作时必须加热,其目的是:加速被测气体的吸附、脱出过程;烧去气敏元件上的污垢,起清洁作用;控制不同的加热温度能对不同的被测气体起选择作用。 一般在200℃~400℃温度下,气敏传感器有较高灵敏度。 半导体气敏传感器的材料主要有SnO系列、ZnO及
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