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2018-06-07 发布于河南
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纳米微晶钛膜结构及其热稳定性

　第36卷第4/ 5期原子能科学技术 Vol. 36 ,No. 4/ 5 　2002年7月 Atomic Energy Science and Technology J uly 2002 纳米微晶钛膜结构及其热稳定性方仁昌 ,樊子荣 ,谢　平 ( 中国工程物理研究院电子工程研究所, 四川绵阳　621900) 摘要 :介绍了用离子束辅助沉积法制备纳米微晶钛的活性特点。纳米钛膜在较宽范围温度处理后 ,用 X ( ) β 射线衍射线宽法谢氏公式测定出 Ti 及 TiHx 晶粒尺寸长大有限。Ti 纳米微晶氢化后转变成 TiHx ( ) 的现象由 X 射线衍射 XRD 谱图证实。由氢饱和工艺提供的氢钛原子比印证了 TiHx XRD 谱线代表的原子比。关键词 :纳米钛膜 ;X 射线衍射分析 ;热稳定性中图分类号: TL5034 ;O4844 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :(2002) 04/ Nanocrystal Titanium Films Structure and It ’s Heat Stability FAN G Renchang , FAN Zirong , XIE Ping ( ) Institute of Elect ron Engineering , China Academy of Engineering Physics , Mianyan g 621900 , China Abstract : The paper introduces the activated characteristic of the nanocrystal titanium pre pared by ion beam assistant deposition. The nanocomposite titanium films are treated under wider temperature range , and the crystal grain sizes as well as finite growing of Ti and TiHx are determined by the method of Xray diffraction ( XRD) line broadened ( Shelow formula) . β The XRD spectra confirm transform from the hydro genated Ti nanocrystal into TiH x , and the atom ratio of TiHx characterized with XRD spectra is confirmed by determining the hy drogen/ titanium atom ratio with hydrogen saturation technology. Key words : nanocomposite titanium films ; Xray diffraction analysis ; heat stability