激光微熔覆导电膜与基板的粘附性及可焊性的分析-analysis of adhesion and solderability of laser micro-cladding conductive film to substrate.docx

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于保密□，在年解密后适用本授权书。不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月1绪论1.1激光微熔覆技术的发展激光微熔覆技术[1-4]是一种利用激光的高能性及高聚焦性的特点，在基材上沉积电子浆料的技术。其主要技术路线是本课题组在激光直写技术及激光熔覆制造技术的基础上提出的，与激光化学气相沉积和激光诱导液相沉积等方法不同，前者是直接将导电金属或其（有机）化合物的固体粒子与有机粘结相混合预置在基板表面，通过激光的加热将这些固态粒子沉积在基板上，而后两者主要依赖于原子沉积方式获得膜层。激光微熔覆技术的工艺流程如图1-1所示。图1-1激光微熔覆加工工艺过程该技术的特点是无需掩模，柔性化程度高。且由于激光光斑直径、方向及位置的可控性使得该项技术还具有加工精度高、速度快、成本低的特点。激光微熔覆技术的研究和发展不仅适用于单个电子/光电子元器件的制造，还适用于PCB电路板或厚膜电路板的快速制造。同时，该技术可以实现产品的批量生产以及高精度微细图形的制作和修复，在微机电系统MEMS领域也具有广阔的应用前景，因而成为一项具有前瞻性和开拓性的技术。由于本课题组从2000年开始就已经对激光微熔覆技术进行研究。通过几年的持续研究工作，采用了激光微熔覆制造技术已经在多种基板表面成功制备出导线电极及平面电容、电阻、电感等厚膜无源器件[5-6]。课题组先后研究开发出激光微熔覆布线设备，图1-2和图1-3分别为本课题组研制的第一代[1]、第二代激光微熔覆布线设备[7]，为本论文的实验工作提供了充分的实验条件。图1-2激光微细熔覆布线设备图1-3微笔—激光复合直写设备实物图本课题组的相关研究人员先后在激光微熔覆工艺研究方面做了大量的研究工作，主要研究内容为激光微熔覆技术工艺参数（包括预置膜厚度、激光功率密度、扫描速度、搭接量、后处理温度等）对电子元器件的性能（例如导线线宽、导电率、电阻率、电感及电容的介电常数等）的影响，以及激光加工参数对含玻璃相的厚膜浆料在陶瓷基板上的粘附强度的影响[8-14]，并未涉及激光工艺参数对不含玻璃相的厚膜金浆料在硅基板上的附着力和可焊性的影响规律以及厚膜金浆在硅基板上的附着力与可焊性的机理研究。1.2涂层粘附性和可焊性的研究进展在现代工业生产中，镀膜技术已广泛应用于航空航天、机械制造、电子技术、工程设备等领域。对于工业用导电膜层来说，除了其经济性能、高稳定性、导电率大之外，还要求附着牢靠，可焊性好。粘附性是指两个或两个以上物体接触时发生相互结合的能力所表现出来的物理特性[15]。表征粘附性特点的名称为粘附力，也称为附着力，其实质是一种界面作用力。而涂层的附着力具有一定的特殊性，它包括两个方面：一是涂层与基体表面的粘附力(adhesion)，二是涂层内部本身的凝聚力(cohesion)[16]。对于任何具有耐磨、耐腐蚀或其他性能的膜层，其粘附力大小是评价涂、镀层质量的重要性能指标。如果膜层与基体结合性差，容易剥落，则其优良的性能都无法付诸于实际应用中[17]。因此，保证膜层粘附性是保证膜层其他性能的基础。常用膜层粘附性的评价方法中定性的方法[18-20]有折弯法、喷砂法、超声波法等。定量的方法有粘结拉伸法、划痕法、压入法及动态膜基界面结合强度测试法等。其中折弯法是通过比较膜层在开始发生开裂时的弯曲程度和膜层的剥落面积。粘结拉伸法是最简单的可定量测定结合强度的方法，其工作原理如图1-4所示。FF膜层粘结物膜层基板F(a)F(b)(a)拉力垂直于膜层/基体界面(b)拉力平行于膜层/基体界面图1-4拉伸试验原理示意图超声波法是一种非破坏性的检测方法，它利用超声反射波在膜层试样中的反射强度或超声波在试样中的传播速度来评价结合强度。反射波强度越高，表面结合强度越高。国外已经有一批专家学者在超声波检测法上做了一系列的研究工作，但还有待大量的实验验证和数据积累才有望使超声波法成为一种定量的方法[21-23]。膜层与基材的结合强度是直接关系到膜基体系最终机械、物理和化学等使用性能和可靠性的关键因素