合肥彩虹蓝光科技有限公司关于gan基led外延工艺导入mocvd设备的调试量产计划书1.pdf

  合肥彩虹蓝光科技有限公司 关于 GaN 基 LED 外延工艺导入 MOCVD 设备的调试量产计划书 吴东，于斌，聂春，程晓苗，杨奎，唐军，李刚, 任龙 随着合肥彩虹蓝光 LED 项目的不断推进，目前厂房建设与后勤厂务等硬件条件基本已经 完工，公司向美国 Veeco 公司的订购的 9 台K465i 与 1 台E475 即将进厂,为了能够在最短时间 内实现MOCVD 设备调试成功转入量产的目标，特制定以下工艺调试与导入计划。 1． 外围辅助硬件设施的筹备与建设 主要包括：厂房建设，洁净室建设，水、电、气配备，以及其他安全检查、检测、监控设 备的安装（该部分已经完成）； 2.MOCVD 设备以及其他辅助设备的软硬件安装与调试 主要包括 MOCVD 的软硬件安装与调试，X 射线衍射仪的安装与调试，PL 测试仪的安装 与调试，Hall 效应测试仪的安装与调试，EL 测试仪的安装与调试，烤炉的安装与调试，烘箱 的安装与调试； 3. MOCVD 单层 DEMO 程序的生长与测试分析； 4.蓝光工艺导入 MOCVD 设备，少片生长以及工艺程序的调整与优化； 5.连续满炉生长的工艺调整与优化； 6.源材料与生产用耗材的质量判定与选择后工艺优化 主要包括新石墨盘的质量判定与生长工艺优化，新衬底的质量判定与生长工艺优化，新 MO 源的质量判定与生长工艺的优化； 7.每日设备安装调试进程报告的编写，产品质量判定标准的制定，各类数据统计表格的制定， 数据库录入范围与要求制定； 8.各类设备与工序的生产作业指导书的编写； 9.各岗位作业员的培训； 10.MOCVD 设备转量产； 11.绿光与蓝光工艺对比以及绿光工艺导入调试转量产； 12.调机过程中可能会遇到的问题与解决方法。 以上步骤是针对单独一台MOCVD 的调机计划步骤，针对一期到货 10 台MOCVD 的情况， 即可以采用 10 台同时一起安装调试的方法（工作量大，调试过程中出现的问题会很多），也可 以采用一台一台分批次安装调试的方法（安装效率低，且缺乏对比性），还可以采用一次调试 1      2-5 台分批安装调试的方法（分批安装，工作量即不会太大，也不会在调机器中缺少对比性）。 针对以上步骤，下面会详细阐述每一步骤实施内容与注意事项。 GaN 基 LED 外延工艺导入 MOCVD 设备的调试量产路线路 厂房建设与水电气配备  各类设备进厂  Hall,PL,XRD,EL 安装与调试  MOCVD 设备软硬件安装与调试  烤炉、烘箱、氮气柜安装与调试 DEMO 程序生长单层与工艺调试  测试与数据分析 芯片制作 蓝光程序导入少片生长工艺调试  芯片工艺与测试 测试反馈 芯片制作 测试与数据分析 优化后满炉生长工艺调试  测试反馈 数据库制作与录入  源材料与耗材的审核 生产作业指导书编写  作业员培训