微系统技术的挑战.PDFVIP

微系統技術的挑戰 方煒 台大生機系 微系統 ♦微機電系統micro-electro-mechanical system, MEMS ♦微機光系統micro-opto-mechanical system, MOMS ♦微光機電系統micro-electro-mecha-optical system, MEMOS ♦Add Bio-to all - Bio-MEMS, Bio-MOMS, Bio-MEMOS 微系統技術： 一種製造具有功能而體積微小且自成系統的技術 – 批造技術 • 基體微細加工(bilk micro-machining) – 法國LETI 的加速度計 • 表面微細加工(surface micro-machining) – 日本MMC 的陀螺儀 • 微光刻電鑄模造(LIGA) – 德國IMM 的矽晶體電路上的微結構 – 非批造技術 • 精密微細加工(precision micro-machining) – 美國IfM • 放電微細加工(electro-discharge micro-machining) – 美國IfM • 雷射微細加工(laser micro-machining) – 美國Lamda Physik Inc. 微系統的應用 ♦ 高級機器人：微小機器人，微小遙控偵測器 ♦ 流體控制：微閥，微幫浦 ♦ 微光學系統：光纖偶合，光干涉儀 ♦ 生物醫藥：血液分析，微細手術 ♦ 微小探針：原子力顯微鏡，透納探針陣列 ♦ 電腦週邊：列表機印頭，磁、光讀寫頭，散熱元件 ♦ 超大型積體電路製程設備：微流量計，微調位器 ♦ 環保監控：自動控制，自動監控 ♦ 家電、消費性電子、………….. 基礎科學上 微系統技術的挑戰 - ♦ 毛細管現象在極小管徑時，會如何？ ♦ 流體力學的傳統理論，在尺寸小至微米時，是 否仍正確？ ♦ 電化學反應在兩極極端接近時，有何新現象？ ♦ 薄膜材料的厚度縮小至微米，其導電性、機械 性、熱傳導性等有何變化？ ♦ 光子、電子都有量子效應，機械力是否也有？ ♦ 重力，浮力，黏力等的變化？凡得瓦力的影響？ 微系統技術的挑戰 –技術發展上 ♦如何將技術模組整合成一套製程技術 ♦如何將一套製程技術精調成實用的生產 技術 ♦其他技術瓶頸： – 矽的非等向蝕刻 – 高寬比大的光刻技術 – 三維結構的形成 – 微弱訊號的讀取 – 非批造與可批造的轉換 微系統技術的挑戰 –資源整合上 ♦微系統技術跨多重領域，如何整合各領 域研究人員？ ♦至少需要針對專長與資源做整體規劃。 ♦其他。 微系統技術的挑戰 – 應用需求上 ♦需求為發明之母 ♦有無應用需求的好主意，會影響微系統 技術將來能否持續發展，能否突顯其重 要性，即對人類文明衝擊的程度。 微系統技術的挑戰 – 投資生產上 ♦不論以以下那一種方式製造 – 量大樣少批造 – 量少樣多非批造 ♦如何使微系統產品成為有吸引力可獲利 的投資生產？ 參考文獻 ♦黃瑞星。1986 。微系統技術的挑戰。科 儀新知18卷3期，p21-25 。