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2018-再谈X射线检测系统构造及主要参数介绍
X射线检测系统构造及主要参数介绍（再析）
唐立云, 上海 March 8, 2018
Technology with Passion
主目录
1 Ｘ射线检测系统的基本构造 Page 2 - Page 3
2 X射线系统的核心部件——射线管种类 Page 4 - Page 11
3 X射线系统核心部件——X射线管的参数Page 12 - Page 31
4 X射线系统核心关键参数——放大倍数 Page 32 - Page 36
5 X射线系统核心部件——探测器的分类及参数Page 37 - Page 69
6 X射线系统核心关键参数——机械系统 Page 70 - Page 75
7 X射线系统核心关键参数——辐射泄路 Page 76 - Page 77
8 X射线系统核心关键参数——用于检测flash memory等芯片lower
dose解决方案路 Page 77 - Page 78
焦点X射线检测系统的主要参数介绍 （再谈） 2
Ｘ射线检测系统的基本构造——
以开放式Ｘ射线管为例
铅房：防止Ｘ射线 载物台：
泄路，一般为两层 放置样品，并在检测
不锈钢板＋６到８ 中移动样品
mm的铅板
(FEINFOCUS)
高压发生器：产生高
压１６０ＫＶ，并对
整个系统供电
探测器：用于感应
高压电缆：
Ｘ射线强度及产生
黑白信号给电脑
抽真空系统：
Ｘ射线管必须工作在
射线管：产生Ｘ射 真空状态
线
高压电缆：
3
焦点X射线检测系统的主要参数介绍 （再谈）
主目录
1 Ｘ射线检测系统的基本构造 Page 2 - Page 3
2 X射线系统的核心部件——射线管种类 Page 4 - Page 11
3 X射线系统核心部件——X射线管的参数Page 12 - Page 31
4 X射线系统核心关键参数——放大倍数 Page 32 - Page 36
5 X射线系统核心部件——探测器的分类及参数Page 37 - Page 69
6 X射线系统核心关键参数——机械系统 Page 70 - Page 75
7 X射线系统核心关键参数——辐射泄路 Page 76 - Page 77
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