7.4化学溶液镀膜法.pptVIP

下载本文档

22
0
约小于1千字
约 6页
2018-05-25 发布于天津
举报
版权申诉

7.4化学溶液镀膜法.ppt

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

7.4化学溶液镀膜法

§8.5 液相外延制膜法(LPE) 外延，包括气相外延，液相外延，分子束外延；液相外延——含熔质的溶液(或熔体)借助过冷而使溶质在衬底上以薄膜形式进行外延生长的方法； LPE首先用于外延GaAs并形成PN结； LPE仍然是制备高纯Ⅲ—V族化合物的有效方法之一。一、液相外延（Liquid Phase Epitaxy, 简称LPE）二、LPE生长系统与生长工艺 1.卧式LPE生长系统溶液（或熔体）借助过冷而使溶质在衬底上以单晶膜的形式生长的方法。在整个生长周期中，衬底和溶液的温度大体上相等，液相外延法生长薄膜晶体是在接近平衡的条件下进行——可得到缺陷很少的单晶薄膜。（1）水平倾斜管法生长工艺要点： a. 炉子倾斜前，让衬底和溶液几乎处于同一温度； b. 倾斜炉子，溶液浸泡衬底，此时不长也不溶解，只腐蚀掉衬底很薄一层，以除去机械损伤产生平结。最好温度稍低一点，以防止衬底浸蚀或溶解太多； c. T↘,让晶体在基底上外延生长； d. 将炉子倾回原位，让溶液从晶片上滚掉，或使用擦拭装置刮掉母液。图8.5.1 水平倾斜管液相外延生长装置示意图（2）静止溶液下滑动衬底法图8.5.2 从溶液表面除去氧化物的液相外延系统图8.5.3 在溶液槽下面滑动衬底生长多层膜用的液相外延系统溶液静止滑动衬底静止衬底滑动溶液双室石墨舟生长 AlxGa(1-x)As外延膜 2.立式LPE生长系统图8.5.4 立式液相外延系统装置示意图立式系统中：溶液一般不动，温度控制较为精确；可在衬底两侧同时外延；也可同时生长多片衬底。谢谢！