第12章湿度检测传感器及应用案例 《传感器技术知识与应用》课件.pptVIP

第12章 湿敏传感器及其应用案例;12.1 湿度检测概述;一、湿度的描述方法;二、湿度检测传感器的分类;12.2 电阻式湿度传感器; 氯化锂湿度敏感元件具有滞后小、不受测试环境风速的影响、检测精度高达±5%等优点，其缺点是耐热性差、不能用于露点以下测量、器件性能重复性差、使用寿命短。 二、半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻通常是有几种金属氧化物混合烧结而成的多孔陶瓷。这些多孔陶瓷的电阻率有的随湿度增加而减小，有的随湿度增加而增大。通常把随湿度增加电阻率减小的称作负特性湿敏半导体陶瓷，而把随湿度增加电阻率增大的称作正特性湿敏半导体陶瓷。; 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导体陶瓷表面附着时，就可能从半导体陶瓷表面俘获电子，使半导体陶瓷表面带负电，相当于表面电势变负。 2. 正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 对于阻值随湿度增加而增大的这类正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理，是由于这类材料的结构，电子能量状态与负特性有所不同所致。; 3. 半导体陶瓷湿敏电阻的优点： ① 测度范围宽，基本上可以实现全湿范围内的湿度测量； ② 工作温度范围宽，常温湿敏电阻的工作温度在150℃以下，而高温湿敏电阻的工作温度可达800℃； ③ 响应时间短，精度高，工艺简单，成本低等。;（1）MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏元件 MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿敏元件一般制作成多孔陶瓷型的结构。气孔大部分为粒间气孔，气孔直径随TiO2添加量的增加而增大，平均气孔直径在100~300nm内。这种结构容易吸附水分，属于负特性湿敏半导体陶瓷。它的电阻率低，温度特性好。利用这种湿敏元件构成的湿度传感器结构如图12-3(a)所示。 ; MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿度传感器的相对湿度与电阻值之间的关系如图12-3(b)所示。它的电阻值既随着环境相对湿度的增加而减小，又随着环境温度的变化而有所变化。 ;(2) ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件 ; 此种传感器的优点：一是可连续稳定地测量湿度，而无需加热除污装置，且功耗低于0.5W；二是体积小，成本低，是一种常用的测湿传感器。 (3)Fe3O4湿敏??件 Fe3O4湿敏元件是由基片、金电极和感湿膜组成，其结构如图12-5(a)所示。图12-5(b)和(c)分别为国产MCS型Fe3O4湿敏元件的电阻——湿度特性和电阻——温度——湿度特性曲线。 ;;三、结露传感器;2. 结露传感器的工作特性 HDP结露传感器的湿度——电阻特性曲线如图12-5(b)所示。由图可知，结露传感器的湿度——电阻特性曲线较为特殊，在相对湿度为60~90%RH时阻值变化不大，约为几到几十KΩ；当湿度接近结露状态时，阻值迅速增大到几百KΩ乃至几MΩ，类似于开关特性。利用它这种良好的开关特性，可进行结露状态的检测和控制。 常见的结露传感器型号有HDP-07，HGP-07及SY-DS-1等，工作电压为0.8V。在75%RH时，阻值为15~20kΩ，在93%RH时，阻值为100kΩ，在100%RH时，阻值为200kΩ。;12.3 电容式湿敏传感器; 2. 陶瓷电容式湿度传感器的特性 ;二、高分子电容式湿度传感器; 2. 特性 高分子电容式湿度传感器具有湿度与电容量基本呈线性关系的特性。它具有输出湿滞小，温度系数小，性能稳定，输出不受其他气体的影响等特点。 常见的有MSR-1型电容式湿度传感器，它的电容与相对湿度的关系特性曲线如图12-10所示。; 集成电容式湿度传感器 IH3605 是采用集成电路工艺制成的，其外形如图12-11(a)所示。它有三个引脚。其中1引脚为电源负极，2引脚为信号输出端，3引脚为电源正极。; 1. 工作原理 当空气中湿度发生变化时，就会引起集成湿度传感器内部湿敏电容器容量的变化,该电容量的变化再经内部电压转换电路转换成电压的变化输出。这个输出电压的大小就代表了相对湿度的高低。 2. 工作特性 实验证明，它的输出电压是供电电压、相对湿度和温度的函数。当电源电压升高时，输出电压也将成比例升高。IH3605集成湿度传感器在采用5V电压供电的条件下，当相对湿度在0% 100%RH变化时,其相应的输出电压特性曲线如图12-11(b)所示。;12.4 空气湿度检测控制应用系统案例;图12-12 直读式湿度计电路原理图;二、汽车玻璃结露控制电路 如图12-13所示是一种用于汽车驾驶室挡风玻璃的自动除霜电路。其目的是防止驾驶室内挡风玻璃结露或积霜。;