第15章传感器综合应用案例介绍 《传感器技术知识与应用》课件.pptVIP

第15章 传感器综合应用案例介绍;15.1 问题的提出 近年来，随着半导体技术的飞速发展，现代电子技术的日益精尖，生产高质量，高性能的大直径单晶体碲锌镉（CZT）成了数万科学志士不断追求的目标。为了保证单晶生长良好，结晶颗粒大，晶格点阵均匀、排列整齐，纯度一致。需要设计一个晶体生长控制系统。其结构如图15-1所示。;图15-1 晶体生长控制系统示意图;15.2 晶体生长控制系统设计; 由于各个温区要求温度在800~1300℃范围内，因被测温度高，又要求控制精确，故传感器选用了精密S型热电偶，它的测温范围是0~1600℃；温度调节执行器选用目前流行的可控硅晶闸管；温度调节控制器选用AL808系列智能调节仪表。 在这个温度控制系统中，AL808是主要部件，它的特点是采用专用微处理器、电擦除存储器、开关电源、高速16位A/D转换器和抗干扰自动恢复技术，具有给定温度设定设定功能，还具有无超调PID算法和PID自整定功能。带有RS232和RS485异步串行通信接口，便于和微机通信等。它的测控精度为±1℃，抗干扰能力强，操作简单。; 为此设计的梯形波旋转控制系统如图15-4所示。本系统选用了松下公司的MSMA042A交流伺服电机和MSDA043A1A-2伺服驱动器。; 根据本系统要求，选择速度控制方式。它的转速与控制电压关系为 N=KV (15-1) 式中：V为伺服驱动器的控制电压信号，且|V|≤10V，N为伺服电机的转速，K是一个比例常数，其数值可在交流伺服驱动器上，根据实际控制要求进行设置。 由伺服电机的特点可知，只要伺服控制器的控制电压信号像图15-3的波形那样就行。调节器由单片机和D/A转换器来实现。由于坩埚速度较小，而且不断变化，选用霍尔转速传感器进行测速。经放大、整形后送给单片机进行处理和显示。;三、晶体生长速度控制子系统设计 ; 其中谐波减速器、滚珠丝杠是高精密、高效率设备，在晶体生长过程中占主导地位，它具有运行平稳，启动时无颤振，低速时无爬行，而且寿命长，磨损小等优点。 该系统控制原理如下，测速机将电机的实际转速n测量出来，并转换成相应的电压u，然后与给定电压ur相比较得到偏差信号e，即e=ur–u。将输出信号e放大成ua后去控制电机带动谐波减速器和滚珠丝杠旋转，滚珠丝杠把丝杠的旋转转变成坩埚的下降，从而实现坩埚下降的恒速控制。 光栅尺的作用是对下降速度进行检测和显示。若通过光栅尺检测到的下降速度不合适，比如说下降速度快了，可把ur的减小，反之，则把ur增大。;15.3 控制系统软件设计与整合;二、系统的整合 将设计的三个子系统进行整合安装，就组成了图15-1所示的晶体生长控制系统。; 从图中可以看出，初次的跟随指令情况并不理想，其输出转速比给定转速有一个微小的延时，经过反复试验，认真分析发现：该延时是由于伺服电机控制器的PID参数——即比例、积分和微分时间调整不当所致。 经过仔细的反复调整，反复试验和验证，最后终于找到了无差、无延时跟踪的最佳比例、积分和微分时间常数，实现了坩埚转速对指定转速指令的无差跟踪。试验证明这个比例、积分和微分时间常数的大小与给定转速n1，n2及T1～T8的大小都有密切关系。;三、结论 将研制的系统安装在碲锌镉晶体生长炉上。经过安装调试，各项指标均达到设计要求。经过投料、试车，一次开车成功，历经21天的生产过程，生长出了合格的碲锌镉晶体如图15-8所示。实践证明，该控制系统工作性能稳定、操作灵活方便。;