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第六章 光相位调制检测系统 光电检测技术知识.ppt
第六章 光相位调制检测系统 6.1 光相位调制的检测 6.2 干涉测量技术 6.3 相位调制型光纤传感器 6.1 光相位调制的检测 测量原理: 振幅、相位、频率、偏振的变化 —光的强度的变化—被测量 一、迈克尔逊干涉仪 位移量 引起光强度变化的次数为N: n—干涉仪所在介质的折射率 —干涉仪光源在真空中的波长 ⒉马赫-泽德干涉仪 优点:避免干涉光路中的光再返回光源,降低光源的不稳定噪声。 BS1、BS2为分束镜 PD1、PD2为光电探测器 PD1 ?? = (2? /?0 )?L n ?L——光程差 2πn/λ0——空间角频率 6.2 干涉测量技术 激光干涉测长仪 1.激光光源 2.干涉系统:迈克尔逊干涉仪 3.光电显微镜 用于:给出被测长度量的起始位置 4.干涉信号处理 光电探测;信号放大;判向;细分;可逆计数和显示记录 光电计数器 显示记录装置 待测物体 可移动平台 光电显微镜 激光光源 BS 移相原理 原理 1.移相 得到两路相互差π/2的干涉条纹光强信号sin、cos. 2.接收 得到两路相互差π/2的电信号, 处理 :放大、整形、倒相,得到四路方波信号 微分电路,得到四路相位依次相差π/2的脉冲信 号 编号 3.可逆计数 正顺序2 加 逆顺序4 减 4.四倍频计数 干涉信号的移相技术 机械移相法 1.反射镜倾斜 反射镜倾斜 两探测器的间隔为条纹间距的1/4 。 当反射镜倾斜时,引起干涉条纹移动时,得到两路相差?/2位相干涉信号 2.窄缝移相法 翼形板移相 以两板交棱为轴,旋转(调整),使通过两板的光线彼此有?/4的光程差 镀膜移相法 1.移相膜作用分光:每反射一次产生π/4的位相跳变 2.移相:光电探测器1的两束相干光各反射一次,两者无相对附加移相; 光电探测器2的两束相干光,一束没有反射,另一反射两次,产 生π/2的相移。 1 2 偏振光移相法 a b a、b为两束相差 的干涉光束 6.3 相位调制型光纤传感器 优点:减少了干涉仪长光路安装和调整,使仪器小型化、简单化 可以通过增加光纤长度来增加灵敏度 应用:应变、温度、声音、旋转、加速度、磁场、电流等 光纤相位调制原理 光纤波导的三个特征 光纤物理长度的变化 光纤折射率及其分布的变化 光纤波导横向尺寸的变化 光纤中传导光的相位变化表示为: 光纤波导尺寸变化产生的相位变化??L=??L 光纤折射率变化产生的相位变化??n=?L?n 光纤长度变化产生的相位变化??d=L??/?d?d ?—光在光纤中的纵向传播常数
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