电感式压力传感器.PPT

主要内容 认识压力传感器 一、电阻应变式压力传感器 5、筒式压力传感器 当被测压力与应变管的内腔相通时，应变管部分产生应变， 在薄壁筒上贴2片应变计做工作片，实心部分贴2片应变计做温度补偿应变片。没有压力作用时，这4片应变片构成的全桥处于平衡；当外部压力作用于应变管内腔时，圆管发生形变，使全桥失去平衡。这种压力传感器测量范围在106Pa～107Pa或更高的压力。其结构简单，制作方便，使用面宽，在测量火炮、炮弹、火箭的动态压力方面得到了广泛应用。 图3-3 筒式压力传感器 主要内容 认识压力传感器 一、电阻应变式压力传感器 6、膜片压力传感器 图2-3 膜片压力传感器 膜片压力传感器的工作原理是，当气体或液体压力作用在弹性元件膜片的承压面上时，膜片变形，使粘贴在膜片另一面的电阻应变片随之形变，并改变阻值。这时测量电路中的电桥失去平衡，产生输出电压。 主要内容 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 图3-4 电容式压力传感器 （a）不锈钢电容式压力传感器 （b）血压计用电容式压力传感器 （c）投入式电容式压力传感器 （d）智能型管道测量用电容式压力传感器 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 电容式压力传感器是利用电容作为敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。 电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器，如图2-8所示，是由一个固定极板和一个弹性膜片（即动极板）组成。 （一）、电容式压力传感器原理结构 P 弹性膜片(动电极) 固定电极 认识压力传感器 图2-8 单电容式压力传感器（属于变极距电容式传感器） (b) 变极距型电容式传感器 （a）变极距型电容式传感器结构原理图 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，可知其初始电容量C0为 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 电容量与极板间距离的关系 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 因Δd的极距变化很小，使Δd/d01时，则有近似的线性关系为： 电容式传感器的灵敏度为： 可见，要提高灵敏度，应减小d0。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，常用提高介电常数的方法，即在两级板间加云母、塑料膜等介质。 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 在实际应用中，为提高灵敏度和线性度，克服电源电压、环境温度变化等外界条件影响，又研制出了差动式电容式压力传感器，如下图所示，上下两极板是固定极板，中间极板是活动极板，未开始测量时将活动极板调整在中间位置，两边电容相等。测量时，中间极板向上或下平移，就会引起电容量的上增下减或反之。 δ1 δ2 S （b）差动平板式电容传感器结构 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 2、差动电容式压力传感器 （a）差动式电容压力传感器结构原理图 当动极板向上位移Δδ时： 电容器C1的间隙δ1变为δ0–Δδ ； 电容器C2的间隙δ2变为δ0+Δδ ； 则： 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 2、差动电容式压力传感器 电容值总的变化量为： 电容值相对变化量为： 在Δδ /δ 0 1时，按级数展开： ≈ 认识压力传感器 2、差动电容式压力传感器 声压传感器（即电容传声器） 驻极体电容传声器 大膜片电容传声器 传声器（Microphone）即话筒，音译作麦克风，目前使用的话筒大多是动圈式和电容式。 电容传声器以振膜与后极板间的电容量变化通过前置放大器变换为输出电压。 单元一 认识压力传感器 主要内容 认识压力传感器 三、电感式压力传感器 利用电磁感应原理将被测量如位移、压力、振动等转换成线圈自感L或互感量系数M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出，这种装置称为电感式传感器 。 自感式压力传感器也称变磁阻式压力传感器，它是在压力作用下使衔铁或铁芯位移，引起线圈的电感发生变化而工作的。根据结构不同分为变间隙式和螺管式两种。 （一）自感式压力传感器 主要内容 认识压力传感器 三、电感位移传感器 1、变气隙式电感式压力传感器 由物理学可知，初始状态时线圈的电感为 若电容器极板间距离由初始值