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第5章 伺服的调整 ※2 自／半自动整定时不能设定。 5 ⑤ 效果的确认 有 3 种确认方法。 (1) 使用激光位移计等的测量器确认臂前端的振动。 (2) 以高速视频拍摄臂前端的振动，确认振动。 (3) 目测确认。 即使设定减振反谐振频率，也不能反映在伺服分析功能上。 增益 频率 ⑥ 减振反谐振频率的微调