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半导体材料基础知识(员工培训材料) 国泰半导体材料有限公司 方 锋 一、半导体材料基本概念： 二、半导体材料的应用及特点： 三、硅的性质及结构： 四、硅材料的制备： 五、硅材料在光伏方面的应用： 目 录 一、半导体材料基本概念： 1、半导体材料的分类 2、半导体材料的主要特征 3、半导体材料常用术语 4、P-N结 二、半导体材料的应用及特点： 1、半导体材料的应用 2、半导体材料的特性 目 录 三、硅的性质及结构： 1、硅在元素周期表中的位置 2、元素硅有关性质 3、硅原子结构 4、硅晶体结构 5、晶格点阵 （1）晶格常数 （2）晶面与晶向 （3）晶面的间距与晶面夹角 （4）晶体的定向 目 录 （5）晶片表面晶向 （6）晶片参考面 四、硅材料的制备： 1、工业硅的制备 2、高纯硅的制备 3、单晶硅的制备 五、硅材料在光伏方面的应用 一、半导体材料基本概念： 1、半导体材料的分类： 1.1：材料的分类: 材料依性能可分为两大类 : 结构材料 —— 反应材料机械功能的结构材料，如钢铁、砂石、水泥； 功能材料 ——反应除机械以外的其它功能，如声、光、化、电、磁、热或辐射能，称为功能材料 。其中功能与材料电子结构有密切关系，如电、光、磁能的材料统称为电子材料。 一、半导体材料基本概念： 1.2：什么是半导体? 按物质的导电性质, 将物质分为三类: (1)、（良）导体： 电阻率≤10-6 Ω.cm； (2)、半导体： 10-5 Ω.cm ≤电阻率≤109 Ω.cm； (3)、绝缘体： 电阻率 1010 ~ 1020 Ω.cm； 半导体就是其导电能力介于导体与绝缘体之间的一类物质。常见的半导体材料: 1.2：什么是半导体? 按物质的导电性质, 将物质分为三类:绝缘体、半导体和导体。 一、半导体材料基本概念： 1.3：半导体材料分类： （1） 按成分来分类： 有机半导体、无机半导体 无机半导体又分为： 元素半导体： 硅Si、锗Ge、碳C； 化合物半导体： 砷化嫁GaAs ； 其中硅材料是应用最广泛、最重要的半导体材料。 一、半导体材料基本概念： 1.3：半导体材料分类： 为什么硅材料成为应用最广泛、最重要的半导体材料？ 原因之一：硅元素是地球上存量丰富的元素之一（氧是第一、硅次之）、无毒性；同时能与氧形成稳定的钝化层SiO2，在集成电路设计中SiO2绝缘层非常重要； 原因之二：在制作成本上，集成电路用的硅片都是由直拉法（Czochralski Method）生产的，CZ工艺中适度的氧含量使硅片的机械强度增加，硅片直径成倍增长，成本迅速下降，集成电路得到广泛的应用。 一、半导体材料基本概念： 1.3：半导体材料分类 （2）按晶体结构来分类： 晶体半导体、非晶体半导体 其中晶体半导体以单晶材料为主。 晶体具有各向异性的性能，即在单晶体的不同方向上，它的一些性能如强度、导电性、光学性能、热膨胀系等是不同的。 一、半导体材料基本概念： 1.3：半导体材料分类 （3）按特性和功能分类： 微电子材料； 光电子材料； 光电转换（光伏）材料； 微波材料； 传感器材料； 简单地对半导体材料分类是困难的，一般按其成分和结构来分类。 一、半导体材料基本概念： 2、半导体材料的主要特征： 2.1负的电阻率温度系数: 随着温度升高, 导电能力增加(材料的电阻率下降)；这种特性与金属相反的： 金属随着温度升高，电阻率也增加。 硅器件最高工作温度： 一、半导体材料基本概念： 2.2 电阻率特性: 通过掺入微量的杂质， 对半导体材料的电阻率在10-4Ω.cm ~ 109 Ω.cm范围内进行调控。 一、半导体材料基本概念： 2.3 导电特性: 半导体材料有两种导电的载流子，一种是带负电荷的载流子 —— 电子； 另一种是带正电荷的的载流子 —— 空穴。 金属导体中全部由电子导电。 一、半导体材料基本概念： 2.3 导电特性: 半导体材料有两种导电的载流子，一种是带负电荷的载流子 —— 电子（N型半导体） 正电荷表示硅原子，负电荷表示围绕