第06篇 章 压电式传感器 《电气测量》课件.ppt

《电气测量》第六章;压电式传感器 ; 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失;压电效应;; 压电材料的主要特性参数有：  ① 压电常数: 压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出灵敏度。  ② 弹性常数: 压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 ③ 介电常数: 对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 ; ④ 机械耦合系数：它的意义是，在压电效应中，转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根，这是衡量压电材料机—电能量转换效率的一个重要参数。  ⑤ 电阻: 压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。  ⑥ 居里点温度: 它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。 ;常用压电材料性能参数 ;6.1.1 石英晶体;天然形成的石英晶体外形;天然形成的石英晶体外形（续） ;石英晶体;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;图6-2 石英晶体 (a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片 ;纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。;通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 ; 若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2（c）所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷， 其大小为 ; 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 ; 电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定，前者与晶片形状尺寸无关，而后者与晶片的几何尺寸有关。;石英晶体的压电效应 （分析之一）;图6-3 石英晶体压电模型 (a) 不受力时； (b) x轴方向受力； (c) y轴方向受力 ; 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。图6-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“⊕”代表硅离子Si4+， “⊙”代表氧离子O2-。 ;当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。; 当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1 ， P2 、P3 ， P1 +P2 +P3 0，在X轴的正方向出现负电荷；电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。  ; 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图6-3c）所示。与图6-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3减小， P1 +P2 +P3 0，在X轴的正方向出现正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。 ; 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。  当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 ;结果不唯一;切片上电荷的符号与受力方向的关系 ;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。;压电陶瓷的压电效应;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向。 无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消，呈中性。;图6-4 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 极化后 ;陶瓷片极化 ;压电陶瓷的压电效应 ;;压电陶瓷产品;最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它是由碳酸钡和二氧化钛按1∶1摩尔分子比例混合后烧结而成的。 它的压电系数约为石英的50倍， 但居里点温度只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 ; 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆（gao）钛酸铅（PZT）系列， 它是钛酸铅（PbTiO2）和锆酸铅（PbZrO3）组成的（Pb（ZrTi）O3）。居里点在300℃以上，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数（性能指标见表6-1）。 