第二篇 章_关键惯性器件 光学惯性测量课件.ppt

按活动系统的支撑方式分类 轴承摆式加速度计 挠性支撑加速度计 质块弹簧加速度计 悬浮加速度计 2.4 加速度计概述 按其它方式分类 精度：高精度（优于10E-4）、中精度（10E-3～10E-4）、低精度（劣于10E-2） 量限：高过载（大于10000g）、大过载（100g～10000g）、中过载（1g～100g）、小过载（小于1g） 频率范围：高频（10千赫以上）、中频（100赫～10千赫）、低频（直流～100赫） 2.4 加速度计概述 2.4 加速度计概述 主要性能指标 零偏重复性（年、月、日） 标度因数（年、月、日） 零偏温度敏感系数 标度温度敏感系数 分辨率、阈值 量程 液浮摆式加速度计是比较成熟、应用较广的一种加速度计。液浮摆式加速度计是一种闭环的、摆组件被液体悬浮的宝石支承摆式加速度计。检测质量被液浮悬浮在壳体里，并用宝石轴承支承定位。根据摆组件被悬浮的程度可分为全浮式和半浮式。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 由于浮子处于悬浮状态，减少了支承的正压力，支承轴可以做得很细，减小了库仑摩擦力，改善了阈值。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 液浮摆式加速度计原理图 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 当敏感加速度时，在惯性力的作用下，浮子围绕支点转动，信号传感器线圈偏离其中心未知，产生与偏转角成比例的信号电压。经过伺服放大器放大并加到力矩器线圈上，产生相应的电磁力矩，使浮子再回到原来的平衡位置。力矩器电流的大小反映了所敏感加速度的大小，通过采样电阻转换成输出电压。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 石英挠性加速度计是具有国际先进水平的新型高级传感器。它精度高、长期稳定性好、体积小巧。是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。 石英挠性加速度计由传感表头组件和伺服电路组件两部分组成。 美国Honeywell公司的Q-FLEX系列中的QA3000是目前级别最高的产品。具有质量稳定、可靠、长期性能好的特点。 石英挠性加速度计 2.5 几种机械式加速度计 MOEMS陀螺——国外 2000年美国IntelliSense公司在硅基片上研制的抗振动集成光学陀螺工程样机。组装式，集成化程度不高。动态范围200°/s，检测精度0.5°/s。 美国IntelliSense公司（2000） 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——国外 2009年美国Darper实验室提出单片式集成光学陀螺方案。 美国Darper实验室（2009） 目标： 在单片波导上将集成光学陀螺的21个器件集成在一起; 在大幅度降低成本的同时使陀螺体积减小到 0.2 立方英寸（是光纤陀螺的1/50），功耗降至 0.25W（是光纤陀螺的1/10）; 精度可以和实用化的激光陀螺、干涉式光纤陀螺相比拟，达到0.01∽1 o /h（远期目标达到导航级精度0.01∽0.001 o /h）。 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——国内 “十一五”期间国内多家单位开展此方面研究： 北航、浙大在硅基波导上实现了谐振式光学陀螺原理样机，最好测试精度为0.2～0.3 °/s ； 东南大学在有机材料上实现了光学谐振腔； 北航提出基于光学微镜和光子晶体微镜的空间微型谐振腔； 航天时代电子公司、8358所、长春理工等均投入较大精力开展该工作。 国内集成光学陀螺关键器件技术与原理样机研制研究处于国际前列，但集成化程度远远落后。 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——北航 研制出具有我国自主知识产权的低损耗、高清晰度波导谐振腔 在国内首次研制出单端调制的集成光学移频器，并应用集成光学陀螺系统 在国内率先研制出集成光学陀螺原理样机（0.3 °/s ） 集成光学调制器 光路系统 样机实验结果 2.3 新型光学陀螺 光纤环与波导谐振腔芯片 MOEMS陀螺原理样机 　　 近三年来，在实验室研制高精度光纤陀螺仪的基础上，研究采用集成光学等技术，将光纤陀螺仪向小型化、低成本方向发展。国内在硅基上率先实现集成光学陀螺样机(0.3o/s)，使我国MOEMS陀螺技术处于国际前列水平，拟在“十二五”实现中精度样机(0.1～1o/h)。 MOEMS陀螺仪研究环境 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——北航 完成了窄线宽半导体激光器性能测试，验证了其应用特性 在高功率窄线宽光纤光源和陀螺噪声机理研究等技术方面取得较大进展 小型化光源应用结果 （a）克尔噪声 （ b）偏振噪声 （c）背反噪声 集成光学陀螺噪声分析 2.3 新型光学陀螺 以