pzt薄膜晶化动力学过程分析-analysis of crystallization kinetics of pzt thin films.docxVIP

下载本文档

4
0
约4.83万字
约 61页
2018-06-01 发布于上海
举报
版权申诉

pzt薄膜晶化动力学过程分析-analysis of crystallization kinetics of pzt thin films.docx

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

pzt薄膜晶化动力学过程分析-analysis of crystallization kinetics of pzt thin films

loss factor was less than 0.1. The good performance of such devices testified that the films could meet the NVFRAM devices demands.Keywords:PZTthinfilm,annealing,crystallization,RTA,texturegrowth, ferroelectric domain目录摘要..............................................................IAbstract ..........................................................II目录...............................................................IV第一章概述........................................................11.1 铁电材料及其应用 ............................................11.2 PZT 材料简介41.3 PZT 薄膜制备方法简介41.4 PZT 薄膜晶化工艺现状61.5 论文选题及研究方案 .............................................7第二章实验方法与原理..............................................92.1 PZT 薄膜制备方法92.2 PZT 铁电薄膜的晶化方法102.3 PZT 薄膜晶化实验中分析表征方法112.3.1 PZT 薄膜的物相分析112.3.2 PZT 薄膜的形貌与表面微结构分析122.3.3 铁电 PZT 薄膜电畴表征及电性能测试 PFM 的表面电畴成像技术 P-E 曲线与介电性能测试 16第三章晶化过程的实验结果与讨论...................................183.1 引言 ..........................................................183.2 升温速率对 PZT 薄膜结构取向的影响183.3 保温时间与退火温度对 PZT 薄膜结构取向的影响203.4 降温速率对 PZT 薄膜结构取向的影响243.5 晶化过程取向生长的理论分析.....................................253.5.1 形核机理的简单描述 .......................................253.5.2 晶粒生长过程中应力对薄膜取向生长的影响 ...............303.5.3 williamson-Hall 方法对薄膜残余应力的简单测定33A34B34A34B343.6 小结 .........................................................35 第四章 PZT 薄膜的铁电畴结构与表征 .................................37 4.1 引言 ..........................................................374.2 形核结晶初期铁电畴的生长行为研究 .........................384.3 不同取向 PZT 薄膜的电畴结构与讨论434.4 小结 .........................................................49第五章PZT 薄膜电性能初探505.1 引言 ..........................................................505.2 电滞回线测试结果分析与讨论 .....................................505.3 介电特性测试结果分析与讨论 ................................515.4 小结 ..........................................................52结论..............................................................53参考文献...........................................................54致谢 ........