一种基于压电陶瓷驱动的f p 可调谐滤波器的研制-development of f p tunable filter driven by piezoelectric ceramic.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于保密□，在年解密后适用本授权书。不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日摘要随着Fabry-Perot可调谐滤波器的设计、制备技术的发展，其在光谱分析、尤其是超光谱成像中得到越来越多的应用。本论文提出了一种以压电陶瓷作为微位移驱动器、基于DSP驱动控制单元的F-P可调谐滤波器系统，结合自行设计的具有布拉格结构的增反膜系，实现3~5μm波段的光学滤波。采用迈克尔逊干涉法和傅里叶红外光谱测试仪对该系统的调谐性能和膜系的透过率进行了测试。测试结果显示，该F-P滤波器系统能够较好的实现光学滤波，证明了压电陶瓷驱动器、驱动控制电路、膜系结构设计的正确性。论文的主要工作如下：（1）从F-P滤波器的基本原理出发，介绍了可调谐F-P滤波器的系统结构。主要介绍了系统的工作原理，分析了系统的负载特性以及压电陶瓷驱动器的位移放大机构的驱动电压和输出位移关系。（2）系统驱动电路设计。主要包括基于DSP的控制电路模块和基于PA12A的高压放大电路模块。（3）系统光学薄膜设计。采用TFCalc光学薄膜设计软件，设计了3~5μm波段的增透、增反膜。从器件的透过率特性、器件扫描特性、入射角度对器件性能影响等方面进行了分析，采用初始中心波长偏移法进一步提高了系统的光能透过率。（4）根据滤波器系统的机械结构设计和驱动电路设计，搭建系统。对驱动电路的电压输出特性进行了测试，用迈克尔逊干涉法对压电陶瓷的驱动电压-输出位移特性进行了测试，同时对滤波器系统的机械性能进行了测试，分析系统存在的问题，提出系统的改进方案，最后用傅里叶红外光谱测试仪对腔长为2μm，镀有布拉格反射膜，增透膜的滤波器进行了红外光学滤波性能的测试。关键词：F-P滤波器压电陶瓷驱动器位移放大机构控制电路放大电路AbstractWiththedevelopmentofthedesigning,fabricatingtechnology,thetunableFPfilterismoreandmorewidelyusedinthespectralanalysis,particularlyinhyperspectralimaging.Inthispaper,aFPtunablefiltersystemdrivenbypiezoelectricceramicmicro-displacementwhichiscontrolledbyDigitalSignalProcessing(DSP)unitisdesigned.CombinedwiththeBraggmembranesystem,3~5μmbandopticalfilterisobtained.ThetestingandverificationworkofthesystemhavebeendonebyusingtheMichelsoninterferometer.Resultsshowthatthissystemhasanopticalfilteringcapability,andalsothedesignofthepiezoelectricceramicactuatoriscorrect,thedrivecontrolcircuitandthemembranesystemperformanceisproved.Theresearchcontentswerelistedasfollows:ThesystemgeneralarchitectureofatunableFPfilterwasdescribed.Theoperatingmechanism,boththeloadcharacteristicsofthesystemandtherelationshipbetweenvoltageandoutputdisplacementofthedisplacementamplificationmechanismisanalyzed.Thesystemdrivencircuitwasdesigned,inclu