电子特气柜 架 VMB VMP简介1.pdfVIP

上海兄弟微电子技术有限公司 特气柜/架，VMB/VMP 简介 名词： GC—Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR—Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体) VMB—Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP—Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和 VMB 主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，而气瓶架和 VMP 一般用于非危害性气 体；主要区别在于，特气柜和 VMB 都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类 气体排出去避免扩散产生更大危险。 (一) Gas Cabinet / Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 : 1. 功能设计 可分为 单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2) 气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。 （1） 单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场 可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理