无尘室的设计规范.pdfVIP

示器 示器 顯示示器器實務 無塵室设计規範 無塵室设计規範 0 1. 無塵室之簡介 無塵室之定義與應用： � 利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及 微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room) 無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業 精緻 � 、 農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。 友達TFT-LCD廠 基因實驗室 食品加工業 國家太空中心 醫療衛生 生物科技 精緻農業 1 1. 無塵室之簡介 無塵室之規格 潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最 常用的規範有Fed-Std-209E 及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例： 2 1. 無塵室之簡介 無塵室之規格 NDL/class 10 CIS/class 100 繼開科技/class 10000 3 1. 無塵室之簡介 無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式 、水 無塵室之種類 (Class 1~100) 平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000) ，其詳細區分如下表： 4 1. 無塵室之簡介 無塵室之種類 Air flow system Air flow system