gcr15等离子体基b c n多元共注后组织及性能-microstructure and properties of gcr 15 plasma-based b c n multicomponent co-injection.docx

摘要本文采用等离子体基离子注入的方法，通过改变 B、C、N 三种元素的 注入工艺参数在 GCr15 轴承钢基体上制备了表面改性层，以提高材料表面 的硬度和耐磨性能。利用 X 射线光电子能谱 (XPS) 分析了表面注入层的成分和原子百分含 量；并通过XRD测试分析了表面注入层的相结构。利用美国Nano Indenter XP型纳米压痕仪测量硬度和弹性模量；利用原子力显微镜对离子注入后试 样表面形貌的观察；通过球-盘式摩擦磨损试验机研究了在干摩擦、常规实 验室条件下表面改性层的摩擦学行为，并根据磨痕轮廓采用积分的方法计算 粘着和磨损量，也对试样摩擦表面进行了扫描电子显微镜(SEM)观察分析。 研究结果表明，离子注入后试样表面层成分及结构与离子注入工艺参数有密切相关。但注入层均没有新相产生，并以非晶态形式存在。一般的，B 元素首先与 O 形成 B-O 键；接着 B 元素与 N 元素结合 B-N 键，当 B 元素 较少时生成的是 sp3 杂化的 B-N 键，当 B 元素较多时生成的是 sp2 杂化的 B- N 键；然后 B 元素与 C 结合生成 B-C 键，当 C 含量相对少时生成的是类 B4C 的 B-C 键，当 C 含量相对多时生成的是类 BC3.4 的 B-C 键；最后多余的 B 元素之间形成 B-B 键。而 N 元素则首先与 B 元素形成 N-B 键，然后与 C 结合生成 N-C 键或 N=C 键。研究结果表明，离子注入后试样表面层力学性能及摩擦学性能与注入层 成分及结构有密切的关系。一般的，生成的类 B4C、BC3.4、sp3 杂化的 B- N、sp3 杂化的 C-N 含量越高，表面层无序度越高，则试样表面层的弹性模 量值和纳米硬度值越高，摩擦系数越高，发生磨粒磨损的倾向大；生成的石 墨 C=C、C-C、B-O、sp2 杂化的 B-N、sp2 杂化的 C-N、sp2 杂化的 C=N，则 试样表面层的弹性模量值和纳米硬度值越低，摩擦系数越低，发生粘着磨损 倾向大。研究结果表明，离子注入后试样表面层摩擦学性能与摩擦试验载荷及对 摩擦副材料有关。随着载荷的增大，磨损机理由氧化磨损、粘着磨损过渡到 磨粒磨损；对摩擦副与试样材料相同时，磨损机理偏向粘着磨损，而对摩擦 副硬度较试样的高时，磨损机理偏向磨粒磨损。关键词 等离子体基离子注入；GCr15 轴承钢；磨损机理AbstractThe strengthening effects and wear resistance of boron, carbon, and nitrogen ions implantation of GCr15 steel are discussed by studying the evolution of nano-hardness and wear mechanism of the samples with different implantation parameters.The composition and chemical structure of implanted layers were studied by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). The phases exist in the implanted layers were determined by grasing angle X-ray diffraction(GXRD). The Nano- impression apparatus were used to determine the nano-hardness and modulus of the implanted layers. The Atom force microscope of Nanoscope IIIa made by Digital Instruments was used to investigate the surface profile of the samples. The tribologocial behavior of the implanted layers was investigated by ball-disk friction wear testing machine under the condition of dry friction and laboratory ambient, and scanning electron microscopy(SEM) and metallographical were also used to investigate the wear machining.The results show tha