减反特性的微纳复合结构的制备和分析-preparation and analysis of micro-nano composite structures with anti-reversion properties.docxVIP

下载本文档

60
0
约3.54万字
约 55页
2018-08-14 发布于上海
举报
版权申诉

减反特性的微纳复合结构的制备和分析-preparation and analysis of micro-nano composite structures with anti-reversion properties.docx

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

减反特性的微纳复合结构的制备和分析-preparation and analysis of micro-nano composite structures with anti-reversion properties

减反特性的微纳复合结构的制备和研究中文摘要减反特性的微纳复合结构的制备和研究中文摘要近年来，为了提高太阳能电池的转换效率，人们一直在研究怎样降低单晶硅表面的光反射率。在硅表面制备减反结构已经成为研究的热点，人们已经在实验上制备出了各种微纳结构，如金字塔结构、纳米柱结构、纳米圆锥体结构等。蛾类等昆虫用各种方法躲避天敌的发现，研究发现光线不论从哪个角度入射到其眼睛都不会产生明显的反射，具有全向宽波段减反特性。“蛾眼”效应的发现，为减反的研究带来了新的活力，并由此发展了多种制备方法，用以获得能够模拟这种结构的亚波长结构渐变折射率减反膜层。在本论文研究中利用单晶硅碱腐蚀各向异性特性和金属辅助化学刻蚀的方法，在前人单晶硅无序金字塔绒化微纳复合结构减反研究的基础上，发展了单晶硅表面制备有序微米金字塔+无序纳米结构的研究，获得了更低的反射率。具体的研究内容归纳如下：（1）采用双光束激光干涉光刻制备了三种不同占宽比、周期约为5μm、正交分布的Si3N4掩膜层，用于研究不同掩膜占宽比对腐蚀制备微结构的影响。采用掩膜版曝光光刻工艺制备了周期约为9μm的呈蜂窝状分布的Si3N4 掩膜层。（2）详细描述了单晶硅各向异性腐蚀的原理，优化腐蚀条件。使用NaOH腐蚀系统以Si3N4 为掩膜对单晶硅进行湿法刻蚀。制备了呈正交分布的微米级结构和呈蜂窝状分布的微米级结构。通过对三种不同占宽比掩膜腐蚀的结构进行对比，研究了腐蚀掩膜的占宽比在单晶硅表面形成有序微米金字塔结构的所起的作用。（3）通过实验探索，确定了金薄膜快速退火的条件以制备出均匀的金纳米颗粒。介绍了金属辅助化学刻蚀的原理，以金纳米颗粒为催化剂在单晶硅表面进行化学刻蚀制备了纳米结构。（4）在以上实验的基础上，优化实验条件，在空间有序、大小均匀的微米金字塔结构上，利用纳米金颗粒辅助的HF刻蚀，制备了微纳复合的减反结构。分析比较了各种结构的减反特性。中文摘要减反特性的微纳复合结构的制备和研究关键词：减反, 微纳复合结构, 光刻, 湿法腐蚀, 金属纳米颗粒辅助化学腐蚀作者：顾小勇指导老师：彭长四Studyandfabrication ofmicro-andnano-structures forantireflectionAbstractStudyandfabricationofmicro-andnano-structuresforantireflectionAbstractToimprovetheconversionefficiencyofsolarcells,theresearchoffabricationof anti-reflectivestructuresonsiliconsurfacehasbeenbecomingahottopic.Manykindsof micro-andnano-structureshavebeenstudiedincluding pyramid,nanopillar,nanocone structures,etc.Insects likemoth,havedevelopedskills toavoidthediscoverybypredators. Researchshowsthatnoobviousreflectioncanberecognizedfromtheinsecteyesfromall directionsandinthewholelightspectrum.“Motheye”effectimprovestheinvestigationof antireflection.Manykindsoftechniqueshavebeendevelopedtofabricatethe sub-wavelengthantireflectionstructureswithgradedrefractiveindex.Inthisthesis,based ontheresearchofcombinationofdisorderedmicro-andnano-texturesofsingle-crystal silicon,wedevelopedthecombinationoforderedmicropyramidstructuresanddisordered nanostructuresbycombiningtheanisotropicalkalietchingofsingle-crystalsiliconand nano-metal-assistchemicaletching.Lowerreflectivitywasachievedthanthedisordered micro-andnano-textures.Bytwo-beamlaserinterferencelitho