用软刻蚀技术制作聚合物微结构.pdf

塑茎 主旦型堂丝查查兰苎主堂丝笙苎 由能呈图案化分布，以此对无机盐类的结晶和高分子的生长聚合进行了诱导成形，并尝试了 直接用聚合物溶液作为“印墨”进行微接触印刷制造聚合物微结构。 (1)．用盖印基片对无机盐CuS04·5H20进行诱导结晶，得到其晶体微点阵；诱导银 镜反应，得到银的微条纹：对有机高分子溶液进行诱导分布，得到了聚合物微条纹。 (2)在盖有OTS的基片上进行聚苯胺的诱导聚合反应，得到图案化的聚苯胺条纹。 随反应时间增加，聚苯胺不断沉积膜层变厚，但时间过长(2min)将会使图形变 得模糊。 (3)用聚合物溶液作为“印墨”直接进行微接触印刷制造聚合物微结构，得到了聚 苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯及两者混合物的微条纹，并用双炔酸酯进行了微条纹的 同态聚合。通过多次重复盖印得到了复层立体微结构。对聚合物微接触印刷的过程 进行了观察分析，发现以氯仿为溶剂的聚合物溶液的最佳溶剂挥发时间为15～20s。 3．使用热微模塑的方法直接在可塑性聚合物的表面复制了各种微图形，有效地减小了使 _I}j聚合物溶液或预聚体时因聚合反应或溶剂挥发带来的较大的收缩率，从而减小图形复制的 失真率。 (1)用热微模塑的方法在聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、低密度聚乙烯、聚丙烯等 多种聚合物表面复制了微结构。通过多次重复热模塑得到交叉复层微结构。 (2)．用微模塑方法在曲面及细小物体上进行了聚合物微结构的复制，并尝试了在 S01．Gel材料上进行微模塑。 (3)对微模塑过程中的温度等影响因素进行了研究讨论。发现温度在微模塑过程中 起着至关重要的作用，过高或过低的温度都不能得到清晰的微结构，合适的温度应 比聚合物的熔化温度稍低，使聚合物处于融化的临界点，既完全软化而又不会沾粘。 同时发现，在进行微模塑时应选用收缩率较小和结晶性较低的聚合物，因为收缩率 较人的材料和结晶性倾向高豹聚合物等在冷却时表面会迅速收缩起皱，破坏所复制 的微结构。 (4)．在聚合物溶液上进行了微模塑．使那些熔点较高的聚合物和聚台物共混物都可 能被用来进行微模塑，可扩大微模塑的材料适用范围。 4．_L}j毛细微模塑法制作了无机盐类、聚合物溶液等材料的微结构，并尝试了在毛细微通 道中的化学反应，对毛细微模塑的原理进行了初步分析。 (1)．用多种无机盐类进行了毛细微模塑，发现盐类在微通道中生长的晶体由于受毛 细通道壁的空间限制，晶体只能沿着通道的轴向方向取向生长，有着非常高的纵横 V1 塑要 主璺型堂垫查查兰堕主堂垡堡苎! 比：通过两种溶液在毛细微通道中的反应，可得到难以溶解的沉淀物质的微结构。 (21．用多种聚合物溶液进行了毛细微模塑，发现聚合物溶液的毛细微模塑受其分子 量及粘度的影响较大，为此必须选择合适的溶液浓度。浓度越低，溶液进入微通道 的长度也越长。但溶液浓度过稀时，由于大量溶剂的挥发，所制备的条纹会有较大 的收缩率，这会给精确复制微结构带来困难。 5我们曾用沉积在si片上的聚酰亚胺LB膜经真空热解制成SiC膜，在论文的第二部分， 我们进一步用x．射线光电子能谱对聚酰亚胺LB膜的热解过程进行了原位跟踪，并用扫瞄隧 道显微镜(STM)对聚酰亚胺LB膜及由其热解得到的SiC薄膜的表面形貌结构进行了观察 分析。结果表明： 反应生成SiC。其后随反应时间延长，膜厚增加直至反应完全。 (2)．STM照片显示，热解后的SiC膜保持了聚酰亚胺LB膜的规整结构，但分子链的 周期间隔由聚酰亚胺LB膜的O．45nm缩小为对应于SiC晶体的0．3nm。进一步说明 了聚酰亚胺LB膜与si基片的反应，而且反应是在聚酰亚胺分予的格点基础{上进行 、／ 的，基本保