激光溅射冷聚焦飞行时光质谱仪的研制及应用.pdfVIP

摘要 摘要 固体样品元素分析在冶金、地质、矿产、环保、国防和半导体工业等领域具 有及其重要极其重要地位，固体样品通常采用强酸溶解消化消解，然后以原子光 谱或质谱进行检测。近年来，固体样品的直接分析方法越来越受到人们的关注。 与固体溶解分析法相比，直接分析法能够节约大量的样品制备准备时间，特别是 在固体样品难以溶解或溶解过程中所加试剂污染性很强的情况下，固体元素直接 分析法具有其他分析法无法比拟的优越性。另外，直接分析法避免了样品溶解过 程中产生的污染和待测元素损失等问题，从而获得更加准确的实验结果。 质谱分析法因为具有定性能力强、灵敏度高、检测限低，测量线性范围宽等 特点，一直受到人们的青睐。激光电离质谱(LIMS)被认为是沉睡的巨人。在 激光能量为109～1010W／cm2时，样品表面被辐射的微区在10‘10秒内被瞬间加热， 产生爆炸式的原子化，等离子体的中央温度为20000-50000K，几乎所有原子都 被电离，而且不同元素的相对灵敏因子基本相同，都接近于l。然而，激光离子 源与质谱仪的结合中存在的问题长期未能得到解决。由激光电离产生的离子具有 高达上千电子伏特的能量分散，是常规质谱的质量分析器无法承受。少量低电离 能的元素过度电离，产生二价或多价离子，严重干扰了谱图的解析。而且在传统 的激光电离质谱仪中，激光电离是在真空中进行的，离子具有很大的能量分散。 这些离子未经冷却，就被引入到质量分析器，使不同质荷比的离子无法得到有效 地分离，降低了仪器的分辨本领。 厦门大学现代分析科学教育部重点实验室原子光谱研究小组一直致力于飞 行时间质谱的研究，曾于1994成功研制了国内第一台垂直引入式微秒级脉冲辉 光放电离子源飞行时间质谱仪(邯．GD．TOFMS)。填补了国家该项空白；何坚博 士与俄罗斯质谱专家A．EDodonov一起合作，于2001年成功研制了一台垂直 引入式电喷雾离子源高分辨飞行时间质谱，其主要性能指标已经达到了国际先进 水平。本论文研制的激光溅射冷聚焦飞行时间质谱仪在利用原来的质量分析器的 基础上，通过加入离子冷却系统，实现了激光离子源与飞行时间质谱的联接，取 得以下优点和效果：(1)使用射频多极杆对激光电离产生的高能量分散离子进行 摘要 冷却和聚焦，解决激光电离源与质谱分析器的匹配问题；(2)在离子源中引入辅 气，成为多价离子降价的载体，去除多价离子的干扰峰，使谱图清晰易读；(3) 对固体样品进行无标样定性乃至半定量分析，无需寻找和购置昂贵的固体标准样 口 0 I：11：1 本论文共分为六章，第一章概述质谱仪和激光器的发展，以及本课题的研究 背景：第二章介绍了激光溅射冷聚焦飞行时间质谱仪的设计原理；第三章介绍了 激光溅射冷聚焦飞行时间质谱仪的加工与安装；第四章主要对激光溅射冷聚焦飞 行时间质谱仪参数进行了优化；第五章介绍了激光溅射飞行时间质谱的相关研究 和应用；第六章对激光溅射冷聚焦飞行时间质谱仪进行了总结，分析了目前存在 的问题，并提出了解决办法。 关键词：激光溅射；飞行时间质谱；固体元素分析 Ⅱ Abstract Abstract Solidselementalhasan stutusandrolein analysisimportant defenseandsemiconductor mining，environmentalprotection,national industry． aredissolvedacidsandthen atomic Traditionally，solidsamples by analyzedby ormass ofsolidhasattracte