陀螺仪发展综述及技术研究.ppt

MEMS陀螺仪发展综述及技术研究 1 2 MEMS陀螺仪研究背景 MEMS陀螺仪基本知识 目录 3 1、 MEMS陀螺仪研究背景 MEMS陀螺仪应用领域 MEMS陀螺仪国外研究现状 MEMS陀螺仪基本概念 MEMS陀螺仪国内研究现状 MEMS陀螺仪主要性能指标 4 1.1 MEMS陀螺仪基本概念 陀螺仪也称角速率传感器，是用来测量物体转动角速度或角位移的传感器。 按照制作原理及结构可将其大致分为转子陀螺仪、光学陀螺仪、振动陀螺仪三类。 振动式陀螺是基于柯氏效应工作的机械陀螺，可动部件为谐振子，谐振子的加工工艺主要有传统工艺和微机械加工工艺两种方式。 各种原理的陀螺仪 5 基于微机械加工工艺制造的陀螺仪称为MEMS陀螺仪。 MEMS陀螺仪主要有转子式、振动式和介质类三种。目前，MEMS陀螺仪的主流是振动式的，转子式和介质类的MEMS陀螺较为少见。 体积微小的微机械陀螺 1.1 MEMS陀螺仪基本概念 6 1.2 MEMS陀螺仪主要性能指标 陀螺仪的核心技术指标是零偏稳定性和角度随机游走。按照零偏稳定性的大小以及其它主要性能指标的不同，可将陀螺仪分为三个级别：惯性级、战术级和速率级。 性能指标 惯性级 战术级 速率级 零偏漂移(deg/h) 0.01 0.01~10 10~1000 角度随机游走系数(deg/√h) 0.001 0.001~0.5 0.5 标度因数非线性度（%） 0.001 0.001~0.1 0.1~1 满量程范围（deg/s） 400 500 30~1000 带宽（Hz） ~100 ~100 70 应用范围 飞机、船舶、航 天器等 航向参考系统、制 导导弹等 移动终端、汽车、 照相机等 不同级别陀螺仪的性能指标要求 7 1.3 MEMS陀螺仪应用领域 微机械陀螺体积小、功耗低、成本低、抗过载能力强、动态范围大、可集成化等优点，可嵌入电子、信息与智能控制系统中，使得系统体积和成本大幅下降，而且总体性能大幅提升，因此在现代军事领域具有广泛的应用前景。 在陀螺仪的传统应用领域，国防军事应用中，高精度微机械陀螺将可用于导弹、航空航天、超音速飞行器等高精度需求的军用产品中 9 1.4 MEMS陀螺仪国外研究现状 微机械陀螺的研究始于20世纪80年代，经过几十年的研究国外相关已经比较成熟，众多科研单位及公司如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司，挪威的Sensornor，日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家，已有商业化产品。其中Boeing 公司的8mm 直径DRG 的最好性能为零偏重复性0.01º/h、角度随机游走0.002º/rt-hr。Sensornor公司也发布了零偏稳定性0.05º/h 的产品。国外研究的目标是研制零偏稳定性优于0.01º/h的惯性级微机电陀螺，逐步取代激光陀螺和光纤陀螺等传统产品。 产品。 (a) 框架式 (b) 音叉式 Draper 实验室的微机电陀螺结构 10 Bosch 公司研制的轮式微陀螺结构 Michigan大学研制的环式微陀螺结构 10 （a）双质量音叉式 （b）四质量摆式结构 （c）盘式谐振结构 加州大学Irvine 分校研制的微机电陀螺结构 11 1.5 MEMS陀螺仪国内研究现状 我国的MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用于MEMS陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、东南大学、国防科大、哈工大等多家单位，经过十多年的努力，在基础理论、加工技术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大，高性能微机械陀螺少有商业化产品。 （a）振动轮式结构 （b）双质量块陀螺结构 北京大学研制的微机械陀螺仪 12 （a）振动轮式结构 （b）双解耦Z 轴体硅陀螺结构 东南大学研制的微机械陀螺仪 （a）振动轮式结构 （b）线振动解耦陀螺结构 清华大学研制的微机械陀螺仪 13 2、 MEMS陀螺仪基本知识 MEMS陀螺仪分类及基本结构 MEMS陀螺仪基本原理 MEMS陀螺仪工艺方法 MEMS陀螺仪制造技术难点 MEMS陀螺仪设计流程及工具 14 2.1 MEMS陀螺仪基本原理 微机械陀螺的基本原理是利用柯氏力进行能量的传递，将谐振器的一种振动模式激励到另一种振动模式，后一种振动模式的振幅与输入角速度的大小成正比，通过测量振幅实现对角速度的测量。 柯氏加速度是动参系的转动与动点相对动参系运动相互耦合引起的加速度。柯氏加速度的方向垂直于角速度矢量和相对速度矢量。判断方法按照右手旋进规则进行判断 ω V ac